VET எனர்ஜி சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் வேஃபர் என்பது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அதிக அதிர்வெண் மற்றும் அதிக சக்தி பண்புகள் கொண்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட பரந்த பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி பொருளாகும். இது புதிய தலைமுறை மின் மின்னணு சாதனங்களுக்கு ஒரு சிறந்த அடி மூலக்கூறு ஆகும். SiC அடி மூலக்கூறுகளில் உயர்தர SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்க்க VET எனர்ஜி மேம்பட்ட MOCVD எபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, இது வேஃபரின் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் வேஃபர், SiC சப்ஸ்ட்ரேட், SOI வேஃபர் மற்றும் SiN சப்ஸ்ட்ரேட் உள்ளிட்ட பல்வேறு குறைக்கடத்தி பொருட்களுடன் சிறந்த இணக்கத்தன்மையை வழங்குகிறது. அதன் வலுவான எபிடாக்சியல் லேயருடன், இது எபி வேஃபர் வளர்ச்சி மற்றும் காலியம் ஆக்சைடு Ga2O3 மற்றும் AlN வேஃபர் போன்ற பொருட்களுடன் ஒருங்கிணைப்பு போன்ற மேம்பட்ட செயல்முறைகளை ஆதரிக்கிறது, இது பல்வேறு தொழில்நுட்பங்களில் பல்துறை பயன்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. தொழில்துறை-தரமான கேசட் கையாளுதல் அமைப்புகளுடன் இணக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்ட இது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களில் திறமையான மற்றும் நெறிப்படுத்தப்பட்ட செயல்பாடுகளை உறுதி செய்கிறது.
VET எனர்ஜியின் தயாரிப்பு வரிசை SiC எபிடாக்சியல் வேஃபர்களுக்கு மட்டும் மட்டுப்படுத்தப்படவில்லை. Si வேஃபர், SiC சப்ஸ்ட்ரேட், SOI வேஃபர், SiN சப்ஸ்ட்ரேட், Epi வேஃபர் போன்ற பல்வேறு குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு பொருட்களையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம். கூடுதலாக, எதிர்கால மின் மின்னணு துறையின் உயர் செயல்திறன் சாதனங்களுக்கான தேவையை பூர்த்தி செய்ய, காலியம் ஆக்சைடு Ga2O3 மற்றும் AlN வேஃபர் போன்ற புதிய அகலமான பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி பொருட்களையும் நாங்கள் தீவிரமாக உருவாக்கி வருகிறோம்.
வேஃபரிங் விவரக்குறிப்புகள்
*n-Pm=n-வகை Pm-தரம்,n-Ps=n-வகை Ps-தரம்,Sl=அரை-இன்சுலேட்டிங்
| பொருள் | 8-இன்ச் | 6-இன்ச் | 4-இன்ச் | ||
| nP தமிழ் in இல் | n-Pm (நியூ-பி.எம்) | n-சங். | SI | SI | |
| டிடிவி(ஜிபிஐஆர்) | ≤6மி | ≤6மி | |||
| வில்(GF3YFCD)-முழுமையான மதிப்பு | ≤15μm மீ | ≤15μm மீ | ≤25μm மீ | ≤15μm மீ | |
| வார்ப்(GF3YFER) | ≤25μm மீ | ≤25μm மீ | ≤40μm | ≤25μm மீ | |
| LTV(SBIR)-10மிமீx10மிமீ | <μமீ | ||||
| வேஃபர் எட்ஜ் | பெவலிங் | ||||
மேற்பரப்பு பூச்சு
*n-Pm=n-வகை Pm-தரம்,n-Ps=n-வகை Ps-தரம்,Sl=அரை-இன்சுலேட்டிங்
| பொருள் | 8-இன்ச் | 6-இன்ச் | 4-இன்ச் | ||
| nP தமிழ் in இல் | n-Pm (நியூ-பி.எம்) | n-சங். | SI | SI | |
| மேற்பரப்பு பூச்சு | இரட்டை பக்க ஆப்டிகல் பாலிஷ், Si- ஃபேஸ் CMP | ||||
| மேற்பரப்பு கரடுமுரடானது | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-முக Ra≤0.2nm | |||
| எட்ஜ் சிப்ஸ் | எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை (நீளம் மற்றும் அகலம்≥0.5மிமீ) | ||||
| உள்தள்ளல்கள் | எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை | ||||
| கீறல்கள் (Si-Face) | அளவு.≤5, ஒட்டுமொத்தம் | அளவு.≤5, ஒட்டுமொத்தம் | அளவு.≤5, ஒட்டுமொத்தம் | ||
| விரிசல்கள் | எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை | ||||
| விளிம்பு விலக்கு | 3மிமீ | ||||
-
1000w 24v ட்ரோன் ஹைட்ரஜன் எரிபொருள் செல் கிட்
-
குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் நுகர்பொருட்கள் அலுமினா செர்...
-
கிராஃபைட் பிளக் ரெசின் செறிவூட்டப்பட்ட த்ரஸ்ட் தாங்கு உருளைகள்...
-
அதிக வலிமை கொண்ட கிராஃபைட்/கார்பன் ஃபைபர் கயிறு...
-
Uav Pemfcக்கான 1000w Pemfc ஸ்டேக் எரிபொருள் செல் ஸ்டேக்...
-
Si...க்கான மேல் மற்றும் கீழ் கிராஃபைட் அரை-நிலவு பகுதி