சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் வேஃபர்

குறுகிய விளக்கம்:

VET எனர்ஜியிலிருந்து வரும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் வேஃபர் என்பது அடுத்த தலைமுறை மின்சாரம் மற்றும் RF சாதனங்களின் தேவைப்படும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கொண்ட அடி மூலக்கூறு ஆகும். VET எனர்ஜி ஒவ்வொரு எபிடாக்சியல் வேஃபரும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், முறிவு மின்னழுத்தம் மற்றும் கேரியர் இயக்கம் ஆகியவற்றை வழங்குவதற்காக கவனமாக தயாரிக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, இது மின்சார வாகனங்கள், 5G தொடர்பு மற்றும் உயர் திறன் கொண்ட மின் மின்னணுவியல் போன்ற பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.


தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

VET எனர்ஜி சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் வேஃபர் என்பது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அதிக அதிர்வெண் மற்றும் அதிக சக்தி பண்புகள் கொண்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட பரந்த பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி பொருளாகும். இது புதிய தலைமுறை மின் மின்னணு சாதனங்களுக்கு ஒரு சிறந்த அடி மூலக்கூறு ஆகும். SiC அடி மூலக்கூறுகளில் உயர்தர SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்க்க VET எனர்ஜி மேம்பட்ட MOCVD எபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, இது வேஃபரின் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் வேஃபர், SiC சப்ஸ்ட்ரேட், SOI வேஃபர் மற்றும் SiN சப்ஸ்ட்ரேட் உள்ளிட்ட பல்வேறு குறைக்கடத்தி பொருட்களுடன் சிறந்த இணக்கத்தன்மையை வழங்குகிறது. அதன் வலுவான எபிடாக்சியல் லேயருடன், இது எபி வேஃபர் வளர்ச்சி மற்றும் காலியம் ஆக்சைடு Ga2O3 மற்றும் AlN வேஃபர் போன்ற பொருட்களுடன் ஒருங்கிணைப்பு போன்ற மேம்பட்ட செயல்முறைகளை ஆதரிக்கிறது, இது பல்வேறு தொழில்நுட்பங்களில் பல்துறை பயன்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. தொழில்துறை-தரமான கேசட் கையாளுதல் அமைப்புகளுடன் இணக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்ட இது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களில் திறமையான மற்றும் நெறிப்படுத்தப்பட்ட செயல்பாடுகளை உறுதி செய்கிறது.

VET எனர்ஜியின் தயாரிப்பு வரிசை SiC எபிடாக்சியல் வேஃபர்களுக்கு மட்டும் மட்டுப்படுத்தப்படவில்லை. Si வேஃபர், SiC சப்ஸ்ட்ரேட், SOI வேஃபர், SiN சப்ஸ்ட்ரேட், Epi வேஃபர் போன்ற பல்வேறு குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு பொருட்களையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம். கூடுதலாக, எதிர்கால மின் மின்னணு துறையின் உயர் செயல்திறன் சாதனங்களுக்கான தேவையை பூர்த்தி செய்ய, காலியம் ஆக்சைடு Ga2O3 மற்றும் AlN வேஃபர் போன்ற புதிய அகலமான பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி பொருட்களையும் நாங்கள் தீவிரமாக உருவாக்கி வருகிறோம்.

第6页-36
第6页-35

வேஃபரிங் விவரக்குறிப்புகள்

*n-Pm=n-வகை Pm-தரம்,n-Ps=n-வகை Ps-தரம்,Sl=அரை-இன்சுலேட்டிங்

பொருள்

8-இன்ச்

6-இன்ச்

4-இன்ச்

nP தமிழ் in இல்

n-Pm (நியூ-பி.எம்)

n-சங்.

SI

SI

டிடிவி(ஜிபிஐஆர்)

≤6மி

≤6மி

வில்(GF3YFCD)-முழுமையான மதிப்பு

≤15μm மீ

≤15μm மீ

≤25μm மீ

≤15μm மீ

வார்ப்(GF3YFER)

≤25μm மீ

≤25μm மீ

≤40μm

≤25μm மீ

LTV(SBIR)-10மிமீx10மிமீ

<μமீ

வேஃபர் எட்ஜ்

பெவலிங்

மேற்பரப்பு பூச்சு

*n-Pm=n-வகை Pm-தரம்,n-Ps=n-வகை Ps-தரம்,Sl=அரை-இன்சுலேட்டிங்

பொருள்

8-இன்ச்

6-இன்ச்

4-இன்ச்

nP தமிழ் in இல்

n-Pm (நியூ-பி.எம்)

n-சங்.

SI

SI

மேற்பரப்பு பூச்சு

இரட்டை பக்க ஆப்டிகல் பாலிஷ், Si- ஃபேஸ் CMP

மேற்பரப்பு கரடுமுரடானது

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
சி-ஃபேஸ் Ra≤ 0.5nm

(5umx5um) Si-முக Ra≤0.2nm
சி-ஃபேஸ் Ra≤0.5nm

எட்ஜ் சிப்ஸ்

எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை (நீளம் மற்றும் அகலம்≥0.5மிமீ)

உள்தள்ளல்கள்

எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை

கீறல்கள் (Si-Face)

அளவு.≤5, ஒட்டுமொத்தம்
நீளம்≤0.5× வேஃபர் விட்டம்

அளவு.≤5, ஒட்டுமொத்தம்
நீளம்≤0.5× வேஃபர் விட்டம்

அளவு.≤5, ஒட்டுமொத்தம்
நீளம்≤0.5× வேஃபர் விட்டம்

விரிசல்கள்

எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை

விளிம்பு விலக்கு

3மிமீ

தொழில்நுட்பம்_1_2_அளவு
உதாரணம் (2)

  • முந்தையது:
  • அடுத்தது:

  • வாட்ஸ்அப் ஆன்லைன் அரட்டை!