Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer

Whakaahuatanga Poto:

Ko te Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer mai i te VET Energy he taputapu mahi teitei i hangaia hei whakatutuki i nga hiahia o te hiko o muri mai me nga taputapu RF. Ma te VET Energy e whakarite kia tino hangaia ia wafer epitaxial kia pai ake te kawe i te waiariki, te ngaohiko pakaru, me te nekeneke kawe, e pai ana mo nga tono penei i nga waka hiko, te whakawhitiwhiti korero 5G, me te hikohiko hiko kaha.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko te VET Energy silicon carbide (SiC) he angiangi epitaxial he tino mahi teitei te whanui bandgap semiconductor me te tino pai o te parenga teitei o te pāmahana, te auau teitei me nga ahuatanga kaha. He taputapu pai mo te whakatipuranga hou o nga taputapu hiko hiko. Ka whakamahia e te VET Energy te hangarau epitaxial MOCVD matatau ki te whakatipu i nga paparanga epitaxial SiC-kounga teitei ki runga i nga taputapu SiC, kia pai ai te mahi me te riterite o te wafer.

Ko ta matou Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer e tuku ana i te hototahitanga pai ki te maha o nga rauemi semiconductor tae atu ki te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, me te SiN Substrate. Ma tana paparanga epitaxial pakari, ka tautokohia e ia nga tikanga matatau penei i te tipu o te Epi Wafer me te whakauru ki nga taonga penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, me te whakarite i te whakamahinga maha puta noa i nga hangarau rereke. I hoahoatia kia hototahi ki nga punaha whakahaere Ripene paerewa-ahumahi, ka whakarite i te pai me te ngawari o nga mahi i roto i nga taiao hangahanga semiconductor.

Ko te rarangi hua a VET Energy ehara i te mea iti ki nga angiangi epitaxial SiC. Ka whakaratohia ano hoki e matou he maha o nga taputapu taputapu semiconductor, tae atu ki te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, me etahi atu, kei te kaha ano hoki matou ki te whakawhanake i nga taputapu semiconductor whanui whanui, penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, ki te whakatutuki i te hiahia o te ahumahi hiko hiko mo meake nei mo nga taputapu mahi teitei ake.

NGA WHAKAMAHI WAFERING

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-Inihi
Tūemi	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2μm
Tapa Wafer	Tirohanga

MATA OTI

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-Inihi
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
Mata Mutu	Takirua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP
Ruarua Mata	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Mata Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Mata Ra≤0.5nm
Tipi Tipi	Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm)
Nuku	Kaore i Whakaaetia
Nga karawarawa(Si-kanohi)	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter			Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter
Kapiti	Kaore i Whakaaetia
Whakakorenga Tapa	3mm