Усовершенствованная консольная лопатка SiC для обработки пластин

Краткое описание:

Усовершенствованная консольная лопатка SiC для обработки пластин, выпущенная vet-china, использует высокотехнологичные материалы SiC для повышения эффективности и точности обработки пластин. Консольная лопатка Vet-china отличается превосходной термостойкостью и коррозионной стойкостью, обеспечивая стабильную производительность обработки пластин в жестких производственных условиях, что делает ее идеальным выбором для повышения производительности производства.


Подробности продукта

Теги продукта

ПродвинутыйКонсольная лопатка SiCfor Wafer Processing, созданный vet-china, представляет собой превосходное решение для производства полупроводников. Эта консольная лопатка изготовлена ​​из материала SiC (карбид кремния), а ее высокая твердость и термостойкость позволяют ей сохранять превосходные характеристики в условиях высоких температур и коррозионных сред. Конструкция консольной лопатки позволяет надежно поддерживать пластину во время обработки, что снижает риск фрагментации и повреждения.

Консольная лопатка SiC— специализированный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников, таком как окислительная печь, диффузионная печь и печь для отжига, основное применение — загрузка и выгрузка пластин, поддержка и транспортировка пластин во время высокотемпературных процессов.

Общие структурыизSiCcантирычагpзапутаться: консольная конструкция, закрепленная на одном конце и свободная на другом, обычно имеет плоскую и лопастную форму.

Компания VET Energy использует высокочистые рекристаллизованные материалы из карбида кремния, чтобы гарантировать качество.

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

Свойство

Типичное значение

Рабочая температура (°С)

1600°C (с кислородом), 1700°C (восстановительная среда)

Содержание SiC

> 99,96%

Бесплатный контент Si

< 0,1%

Насыпная плотность

2,60-2,70 г/см33

Кажущаяся пористость

< 16%

Прочность на сжатие

> 600МПа

Прочность на изгиб в холодном состоянии

80-90 МПа (20°С)

Прочность на изгиб в горячем состоянии

90-100 МПа (1400°С)

Тепловое расширение при 1500°C

4.70 10-6/°С

Теплопроводность при 1200°C

23Вт/м•К

Модуль упругости

240 ГПа

Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

Преимущества усовершенствованной консольной лопатки SiC для обработки пластин компании VET Energy:

- Высокая температурная стабильность: можно использовать в средах с температурой выше 1600°C;

-Низкий коэффициент теплового расширения: сохраняет размерную стабильность, снижая риск коробления пластины;

-Высокая чистота: меньший риск загрязнения металлами;

-Химическая инертность: коррозионно-стойкий, подходит для различных газовых сред;

-Высокая прочность и твердость: износостойкость, длительный срок службы;

-Хорошая теплопроводность: способствует равномерному нагреву пластин.

Консольная лопатка10
Консольная лопатка16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!