ПродвинутыйSiC консольная лопастьРазработанная компанией vet-china консольная подставка для обработки полупроводниковых пластин предлагает превосходное решение для полупроводникового производства. Эта консольная подставка изготовлена из карбида кремния (SiC), а ее высокая твердость и термостойкость позволяют ей сохранять отличные рабочие характеристики при высоких температурах и в агрессивных средах. Конструкция консольной подставки обеспечивает надежную поддержку пластины во время обработки, снижая риск ее фрагментации и повреждения.
SiC консольная лопастьЭто специализированный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников, таком как печи для окисления, диффузионные печи и печи для отжига. Его основное назначение — загрузка и выгрузка пластин, а также поддержка и транспортировка пластин во время высокотемпературных процессов.
Общие структурыизSiCcантирычагpспятить: Консольная конструкция, закрепленная с одного конца и свободная с другого, обычно имеет плоскую, лопатообразную форму.
Компания VET Energy использует высокочистые рекристаллизованные материалы из карбида кремния для гарантии качества.
| Физические свойства перекристаллизованного карбида кремния | |
| Свойство | Типичное значение |
| Рабочая температура (°C) | 1600 °C (с кислородом), 1700 °C (восстановительная среда) |
| содержание SiC | > 99,96% |
| Содержание свободного Si | < 0,1% |
| Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см³3 |
| Кажущаяся пористость | < 16% |
| Прочность на сжатие | > 600МПа |
| Прочность на изгиб в холодном состоянии | 80-90 МПа (20°C) |
| Прочность на горячую гибку | 90-100 МПа (1400°C) |
| Тепловое расширение при 1500 °C | 4.70 10-6/°C |
| Теплопроводность при 1200 °C | 23Вт/м•К |
| Модуль упругости | 240 ГПа |
| Устойчивость к термическому шоку | Очень хорошо |
Преимущества усовершенствованной SiC-кантилеверной платформы VET Energy для обработки кремниевых пластин заключаются в следующем:
- Высокая термостойкость: применимость в условиях окружающей среды выше 1600 °C;
- Низкий коэффициент теплового расширения: обеспечивает стабильность размеров, снижая риск деформации пластины;
- Высокая чистота: меньший риск загрязнения металлами;
- Химическая инертность: коррозионная стойкость, пригодность для использования в различных газовых средах;
- Высокая прочность и твердость: износостойкость, длительный срок службы;
-Хорошая теплопроводность: способствует равномерному нагреву пластины.
-
Графитовый лист. Гибкая графитовая бумага обладает хорошими...
-
Металлический водородный топливный элемент для дрона, стек PEMFC мощностью 200 Вт...
-
Топливный элемент PEM 24 В для наружного применения, водородный...
-
Беспилотный летательный аппарат с водородным топливным элементом мощностью 1000 Вт...
-
Лодка для кремниевых пластин SiC 4″ 6″ 8″ для H...
-
Высокотемпературная стабильность. Тигель из стеклоуглерода.