ПродвинутыйКонсольная лопатка SiCfor Wafer Processing, созданный vet-china, представляет собой превосходное решение для производства полупроводников. Эта консольная лопатка изготовлена из материала SiC (карбид кремния), а ее высокая твердость и термостойкость позволяют ей сохранять превосходные характеристики в условиях высоких температур и коррозионных сред. Конструкция консольной лопатки позволяет надежно поддерживать пластину во время обработки, что снижает риск фрагментации и повреждения.
Консольная лопатка SiC— специализированный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников, таком как окислительная печь, диффузионная печь и печь для отжига, основное применение — загрузка и выгрузка пластин, поддержка и транспортировка пластин во время высокотемпературных процессов.
Общие структурыизSiCcантирычагpзапутаться: консольная конструкция, закрепленная на одном конце и свободная на другом, обычно имеет плоскую и лопастную форму.
Компания VET Energy использует высокочистые рекристаллизованные материалы из карбида кремния, чтобы гарантировать качество.
| Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
| Свойство | Типичное значение |
| Рабочая температура (°С) | 1600°C (с кислородом), 1700°C (восстановительная среда) |
| Содержание SiC | > 99,96% |
| Бесплатный контент Si | < 0,1% |
| Насыпная плотность | 2,60-2,70 г/см33 |
| Кажущаяся пористость | < 16% |
| Прочность на сжатие | > 600МПа |
| Прочность на изгиб в холодном состоянии | 80-90 МПа (20°С) |
| Прочность на изгиб в горячем состоянии | 90-100 МПа (1400°С) |
| Тепловое расширение при 1500°C | 4.70 10-6/°С |
| Теплопроводность при 1200°C | 23Вт/м•К |
| Модуль упругости | 240 ГПа |
| Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |
Преимущества усовершенствованной консольной лопатки SiC для обработки пластин компании VET Energy:
- Высокая температурная стабильность: можно использовать в средах с температурой выше 1600°C;
-Низкий коэффициент теплового расширения: сохраняет размерную стабильность, снижая риск коробления пластины;
-Высокая чистота: меньший риск загрязнения металлами;
-Химическая инертность: коррозионно-стойкий, подходит для различных газовых сред;
-Высокая прочность и твердость: износостойкость, длительный срок службы;
-Хорошая теплопроводность: способствует равномерному нагреву пластин.
-
Композиты C/C (CFCS) с превосходными фрикционными свойствами...
-
Портативный водородный топливный элемент мощностью 1000 Вт, 24 В...
-
Китайский производитель графит с покрытием SiC MOCVD Ep...
-
Газодиффузионный слой электролитической ячейки — это...
-
100 Вт топливный элемент 12 В водородный топливный элемент ...
-
Высокопрочный стеклоуглеродный тигель для высокотемп...



