Tagadala ng Graphite para sa proseso ng PECVD

Graphite Carrier para sa proseso ng PECVD Itinatampok na Larawan

Maikling Paglalarawan:

Enerhiya ng VETAng PECVD Graphite Boat para sa Solar Panel ay isang advanced na component na partikular na idinisenyo para sa produksyon ng mga high-performance solar panel. Ginagamit sa mga proseso ng Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), tinitiyak ng graphite boat na ito ang pinakamainam na paghawak ng materyal at pantay na pagdedeposito ng mga manipis na pelikula sa mga solar cell. Ginawa para sa katumpakan at tibay, nagbibigay ito ng superior thermal conductivity, mataas na corrosion resistance, at kaunting kontaminasyon, na mahalaga para sa produksyon ng mahusay at de-kalidad na solar panel.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Enerhiya ng VETAng PECVD process graphite carrier ay isang mataas na kalidad na consumable na ginawa para sa proseso ng PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Ang graphite carrier na ito ay gawa sa mataas na kadalisayan at high-density na materyal na graphite, na may mahusay na resistensya sa mataas na temperatura, kalawang, katatagan ng dimensional at iba pang mga katangian, na maaaring magbigay ng isang matatag na plataporma ng carrier para sa proseso ng PECVD, upang matiyak ang pagkakapareho at pagiging patag ng thin film deposition.

Ang mga graphite carrier para sa proseso ng PECVD ay may mga sumusunod na katangian:

▪ Mataas na kadalisayan: napakababang nilalaman ng dumi, na iniiwasan ang kontaminasyon ng pelikula at tinitiyak ang kalidad ng pelikula.

▪ Mataas na densidad: mataas na densidad, mataas na mekanikal na lakas, kayang tiisin ang mataas na temperatura at mataas na presyon na kapaligiran ng PECVD.

▪ Magandang katatagan ng dimensyon: maliit na pagbabago sa dimensyon sa mataas na temperatura, na tinitiyak ang katatagan ng proseso.

▪ Napakahusay na thermal conductivity: epektibong naglilipat ng init upang maiwasan ang sobrang pag-init ng wafer.

▪ Malakas na resistensya sa kalawang: kayang labanan ang erosyon ng iba't ibang kinakaing gas at plasma.

▪ Pasadyang serbisyo: ang mga graphite carrier na may iba't ibang laki at hugis ay maaaring ipasadya ayon sa mga pangangailangan ng customer.

Materyal na grapayt mula sa SGL:

Karaniwang parametro: R6510
Indeks	Pamantayan sa Pagsubok	Halaga	Yunit
Karaniwang laki ng butil	ISO 13320	10	μm
Densidad ng bulk	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Bukas na porosidad	DIN66133	10	%
Katamtamang laki ng butas	DIN66133	1.8	μm
Pagkamatagusin	DIN 51935	0.06	cm²/s
Katigasan ng Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Tiyak na resistivity ng kuryente	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lakas ng pagbaluktot	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Lakas ng kompresyon	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Pagpapalawak ng init (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktibidad ng init (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ito ay partikular na idinisenyo para sa mataas na kahusayan sa paggawa ng solar cell, na sumusuporta sa pagproseso ng malalaking wafer ng G12. Ang na-optimize na disenyo ng carrier ay makabuluhang nagpapataas ng throughput, na nagbibigay-daan sa mas mataas na rate ng ani at mas mababang gastos sa produksyon.

Aytem	Uri	Tagadala ng wafer na may numero
Bangka na gawa sa PEVCD Grephite - Ang seryeng 156	156-13 bangkang grephite	144
	156-19 bangkang grephite	216
	156-21 bangkang grephite	240
	156-23 bangkang grapayt	308
Bangka na gawa sa PEVCD Grephite - Ang seryeng 125	125-15 na bangkang grephite	196
	125-19 na bangkang grephite	252
	125-21 bangkang graphite	280