Vòng than chì phủ cacbua tantan xốp
Than chì phủ cacbua tantan (TaC) xốpTaC là vật liệu chủ chốt được phát triển đặc biệt cho môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn mạnh trong sản xuất chất bán dẫn. Lớp nền của nó là than chì đẳng hướng có độ tinh khiết cao, được phủ một lớp màng cacbua tantan xốp đồng nhất bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD). TaC có độ cứng cực cao (9-10 trên thang Mohs) và điểm nóng chảy là 3880°C. Kết hợp với độ ổn định nhiệt tuyệt vời và đặc tính nhẹ của than chì, vật liệu này kết hợp độ bền ở nhiệt độ cao với khả năng chống lại sự tấn công hóa học và sốc nhiệt, làm cho nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho thiết bị xử lý chất bán dẫn hoạt động trong điều kiện khắc nghiệt.
Ưu điểm của than chì cacbua tantan xốp:
1. Khả năng chống ăn mòn cực cao
- TaC có tính trơ về mặt hóa học, chống ăn mòn hiệu quả bởi các halogen như flo và clo, giúp kéo dài đáng kể tuổi thọ thiết bị.
-Cấu trúc xốp làm tăng diện tích bề mặt của lớp phủ, tạo thành một lớp bảo vệ chắc chắn hơn và giảm nguy cơ bong tróc các hạt.
2. Độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời
-Với điểm nóng chảy gần 4000°C, nó có thể hoạt động trong thời gian dài trong môi trường chân không hoặc khí trơ ở nhiệt độ trên 2500°C.
- Hệ số giãn nở nhiệt của lớp phủ rất phù hợp với hệ số giãn nở nhiệt của than chì, giúp ngăn ngừa hiện tượng nứt và bong tróc do chu kỳ nhiệt.
3. Độ tinh khiết cao và ít tạp chất
-Sử dụng nguyên liệu thô và quy trình đạt tiêu chuẩn bán dẫn, hàm lượng tạp chất kim loại cực thấp, giảm đáng kể nguy cơ nhiễm bẩn tấm bán dẫn.
- Bề mặt có cấu trúc đặc và ổn định về mặt hóa học, giúp giảm thiểu sự phát sinh hạt và đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt của phòng sạch.
4. Thiết kế theo yêu cầu
Có thể sản xuất các hình dạng phức tạp theo bản vẽ của khách hàng, đồng thời có thể kiểm soát độ xốp và độ dày lớp phủ để đạt được lưu lượng khí và độ dẫn nhiệt tối ưu.
5. Tuổi thọ cao và chi phí bảo trì thấp
Khả năng chống ăn mòn và mài mòn cực cao của lớp phủ TaC xốp giúp tăng tuổi thọ linh kiện lên gấp 3-5 lần so với than chì truyền thống, giảm tần suất thay thế và chi phí bảo trì.
Ứng dụng chính
1. Các thành phần cốt lõi cho sản xuất tấm bán dẫn
- Lớp lót buồng phản ứng, vách ngăn và đầu phun cho thiết bị CVD/ALD
- Hỗ trợ mục tiêu PVD
- Các linh kiện chịu nhiệt độ cao dùng cho quá trình khuếch tán, oxy hóa, ủ nhiệt và các quá trình khác.
2. Hệ thống lắng đọng hơi hóa học
- Bảo vệ các thành phần quan trọng trong môi trường ăn mòn cao (như florua và clorua) trong suốt quá trình sản xuất.
3. Các môi trường ăn mòn nhiệt độ cao khác
- Thích hợp cho việc tinh chế khí hóa chất, lò xử lý nhiệt chuyên dụng và các ứng dụng khác.
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất các vật liệu cao cấp tiên tiến như than chì, cacbua silic, thạch anh, cũng như các công đoạn xử lý vật liệu như phủ SiC, phủ TaC, phủ cacbon thủy tinh, phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Sở hữu nhà máy và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh quý khách đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
