Ống khuếch tán cacbua silic SiC
Ống lò khuếch tán cacbua silicChúng là các thành phần quan trọng được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, xử lý nhiệt độ cao và các quy trình chuẩn bị vật liệu. Chúng chủ yếu được sử dụng làm giá đỡ và buồng phản ứng cho lò khuếch tán hoặc lò oxy hóa, thực hiện các quy trình như phản ứng trong khí quyển, oxy hóa, khuếch tán và ủ trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn mạnh.
VET Energy chuyên thiết kế và sản xuất ống silicon carbide (SiC) cho các ứng dụng bán dẫn nhiệt độ cao và ăn mòn. Với các cơ sở sản xuất tiên tiến và công nghệ CVD và thiêu kết độc quyền, chúng tôi cung cấp các ống có độ ổn định nhiệt tuyệt vời, khả năng chống oxy hóa và tuổi thọ cao.
Ưu điểm của ống SiC của VET Energy:
Độ tinh khiết cực cao:Được sản xuất bằng quy trình thiêu kết đặc biệt, các tạp chất kim loại có hại (như Na, K, Fe và Al) được giảm xuống mức ppb.
Độ thoát khí cực thấp:Trong môi trường nhiệt độ cao, chân không cao, sự thoát khí diễn ra thấp hơn nhiều so với thạch anh, giúp ngăn ngừa hiệu quả sự nhiễm bẩn buồng xử lý, đảm bảo chất lượng vốn có của màng mỏng được lắng đọng hoặc sự phát triển tinh thể, và cải thiện đáng kể năng suất sản phẩm (đặc biệt quan trọng đối với quá trình epitaxy SiC, sự phát triển GaN và sản xuất silicon đơn tinh thể cao cấp).
Độ ổn định ở nhiệt độ cao:Nhiệt độ hoạt động lâu dài vượt quá 1600°C (cao hơn nhiều so với điểm hóa mềm của thạch anh, khoảng 1200°C) là hoàn toàn có thể, và nhiệt độ ngắn hạn thậm chí có thể chịu được nhiệt độ cao hơn (như 1800°C), đáp ứng các yêu cầu về nhiệt độ cực cao của chất bán dẫn thế hệ thứ ba và các quy trình tăng trưởng tinh thể.
Khả năng chống ăn mòn hóa học:Có khả năng chống chịu cao với các khí ăn mòn mạnh như HCl, Cl₂ và HF, cũng như silicon nóng chảy và hơi kim loại, duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và độ hoàn thiện bề mặt trong các môi trường phức tạp như CVD, khuếch tán, oxy hóa và khắc, với tuổi thọ vượt xa ống lò nung thạch anh.
Khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời:Độ dẫn nhiệt của nó cao hơn hàng chục lần so với thạch anh, cho phép phân bố nhiệt độ lò nhanh hơn và đồng đều hơn, cải thiện tính đồng nhất và khả năng lặp lại của quy trình. Điều này đặc biệt quan trọng đối với quy trình xử lý nhiều tấm wafer trên diện tích lớn (ví dụ: lò khuếch tán quang điện và lò phản ứng MOCVD).
Tính ổn định về kích thước:Hệ số giãn nở nhiệt cực thấp của nó đảm bảo ống lò duy trì hình dạng ổn định cao ngay cả khi chịu sự thay đổi nhiệt độ đột ngột và lặp đi lặp lại, ngăn ngừa hỏng gioăng hoặc tập trung ứng suất do giãn nở và co lại nhiệt.
Độ bền:Độ cứng và độ bền cao mang lại cho ống lò nung các đặc tính cơ học tuyệt vời, giúp nó chống lại sự biến dạng và hư hỏng.
Ứng dụng điển hình:
Sản xuất chất bán dẫn:Các phương pháp bao gồm: nuôi cấy màng mỏng SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), nuôi cấy màng mỏng dựa trên silicon, khuếch tán/oxy hóa/ủ ở nhiệt độ cao (RTP) và LPCVD.
Ngành công nghiệp quang điện:Khuếch tán ở nhiệt độ cao (khuếch tán phốt pho/boron) và ủ nhiệt các tế bào quang điện silicon tinh thể.
| 重结晶碳化硅物理特性 Tính chất vật lý của cacbua silic tái kết tinh | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 Giá trị điển hình |
| 使用温度/ Nhiệt độ hoạt động (°C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
| SiC含量Hàm lượng SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量Hàm lượng Si tự do | < 0,1% |
| 体积密度/Mật độ khối | 2,60-2,70 g/cm³3 |
| 气孔率Độ xốp biểu kiến | < 16% |
| 抗压强度/ Độ bền nén | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Độ bền uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Sự giãn nở nhiệt ở 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Độ dẫn nhiệt ở 1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Mô đun đàn hồi | 240 GPa |
| 抗热震性/ Khả năng chống sốc nhiệt | Cực kỳ tốt |
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất các vật liệu cao cấp tiên tiến như than chì, cacbua silic, thạch anh, cũng như các công đoạn xử lý vật liệu như phủ SiC, phủ TaC, phủ cacbon thủy tinh, phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Sở hữu nhà máy và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh quý khách đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
