Òrùka Graphite tí a fi Tantalum Carbide bo
Graphite tí a fi bò tantalum carbide (TaC) tí ó ní ihòjẹ́ ohun èlò pàtàkì tí a ṣe ní pàtó fún àwọn àyíká tí ó ní iwọ̀n otútù gíga àti ìbàjẹ́ gíga ti iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor. Ohun èlò rẹ̀ jẹ́ isostatic graphite tí ó mọ́ tónítóní, tí a fi ìbòrí tantalum carbide tí ó ní ihò kan náà bò nípa lílo ìdènà èéfín kẹ́míkà (CVD). TaC ní líle gíga gan-an (9-10 lórí ìwọ̀n Mohs) àti ojú ìyọ́nú tí ó jẹ́ 3880°C. Ní ìdàpọ̀ pẹ̀lú ìdúróṣinṣin ooru tí ó dára jùlọ ti graphite àti àwọn ànímọ́ fífẹ̀, ohun èlò yìí so agbára ìgbóná gíga pọ̀ mọ́ ìdènà sí ìkọlù kẹ́míkà àti ìkọlù ooru, èyí tí ó mú kí ó jẹ́ àṣàyàn tí ó dára fún ohun èlò ilana semiconductor tí ń ṣiṣẹ́ lábẹ́ àwọn ipò tí ó le koko.
Àwọn Àǹfààní ti Porous Tantalum Carbide Graphite:
1. Àìfaradà ìbàjẹ́ tó ga jùlọ
-TaC jẹ́ aláìlera nípa kẹ́míkà, ó ń tako ìbàjẹ́ láti inú àwọn halogens bíi fluorine àti chlorine, ó sì ń mú kí ohun èlò náà pẹ́ sí i ní àkókò tó yẹ.
-Irísí ihò náà mú kí ojú ilẹ̀ ìbòrí náà pọ̀ sí i, ó sì ń ṣe ààbò tó lágbára jù, ó sì ń dín ewu ìtújáde èérún kù.
2. Iduroṣinṣin otutu giga to dara julọ
-Pẹ̀lú ibi tí ó ń yọ́ tí ó ń súnmọ́ 4000°C, ó lè ṣiṣẹ́ fún ìgbà pípẹ́ nínú afẹ́fẹ́ aláìléwu tàbí afẹ́fẹ́ aláìléwu tí ó ju 2500°C lọ.
-Iye ìfàsẹ́yìn ooru ti ibora naa baamu daradara pẹlu ti graphite, o n ṣe idiwọ fifọ ati fifọ ti o waye nipasẹ iyipo ooru.
3. Ìmọ́tótó Gíga àti Ẹ̀gbin Kékeré
-Ní lílo àwọn ohun èlò àti ìlànà tí a fi ìpele semiconductor ṣe, ìwọ̀n àìmọ́ irin náà kéré gan-an, èyí sì dín ewu ìbàjẹ́ wafer kù gidigidi.
-Ilẹ̀ náà nípọn, ó sì dúró ṣinṣin ní ti kẹ́míkà, ó ń dín ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ kù, ó sì ń bá àwọn ìlànà yàrá ìwẹ̀nùmọ́ mu.
4. Apẹrẹ Àṣà
A le ṣe awọn apẹrẹ ti o ni idiju gẹgẹbi awọn aworan alabara, ati pe a le ṣakoso porosity ati sisanra ti a bo lati ṣaṣeyọri sisan gaasi ti o dara julọ ati agbara igbona.
5. Ìgbésí ayé gígùn àti owó ìtọ́jú tó kéré
Ipalara ati ilora giga ti awọn awọ TaC ti o ni iho mu ki igbesi aye paati pọ si ni igba 3-5 ni akawe pẹlu graphite ibile, eyi ti o dinku iye igba rirọpo ati awọn idiyele itọju.
Àwọn Ohun Èlò Pàtàkì
1. Àwọn èròjà pàtàkì fún ṣíṣe wáfà
- Àwọn ohun èlò ìfọ̀rọ̀wérọ̀, àwọn baffles, àti orí ìwẹ̀ fún ohun èlò CVD/ALD
- Awọn atilẹyin afojusun PVD
- Awọn paati ilana iwọn otutu giga fun itankale, ifoyina, annealing, ati awọn ilana miiran
2. Àwọn ètò ìforúkọsílẹ̀ èéfín kẹ́míkà
- Dáàbò bo àwọn èròjà pàtàkì ní àwọn àyíká tí ó ní ìbàjẹ́ púpọ̀ (bíi fluoride àti chlorides) nígbà tí a bá ń ṣe é
3. Àwọn àyíká mìíràn tó ń ba nǹkan jẹ́ ní iwọ̀n otútù gíga
- O dara fun mimọ gaasi kemikali, awọn ileru itọju ooru pataki, ati awọn ohun elo miiran.
VET Energy jẹ́ olùpèsè ọ̀jọ̀gbọ́n tí ó ń dojúkọ ìwádìí àti ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò tó ga jùlọ bíi graphite, silicon carbide, quartz, àti ìtọ́jú ohun èlò bíi SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ọjà náà ni a ń lò fún photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile oke, o le pese awọn solusan ohun elo ọjọgbọn diẹ sii fun ọ.
Awọn anfani Agbara VET pẹlu:
• Ilé iṣẹ́ tirẹ̀ àti yàrá ìwádìí ọ̀jọ̀gbọ́n;
• Awọn ipele mimọ ati didara ti o jẹ asiwaju ile-iṣẹ;
• Iye owo idije & Akoko ifijiṣẹ yara;
• Ọpọlọpọ ajọṣepọ ile-iṣẹ ni agbaye;
A gba yin laye lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ ati yàrá wa nigbakugba!
