Kenmerke:
· Uitstekende termiese skokweerstand
· Uitstekende fisiese skokweerstand
· Uitstekende Chemiese Weerstand
· Superhoë Suiwerheid
· Beskikbaarheid in komplekse vorm
·Bruikbaar onder oksiderende atmosfeer
Toepassing:
Produkkenmerke en voordele:
1. Superieure Termiese Weerstand:Met 'n hoë suiwerheidSiC-laag, die substraat weerstaan uiterste temperature, wat konsekwente prestasie in veeleisende omgewings soos epitakse en halfgeleiervervaardiging verseker.
2. Verbeterde duursaamheid:Die SiC-bedekte grafietkomponente is ontwerp om chemiese korrosie en oksidasie te weerstaan, wat die substraat se lewensduur verhoog in vergelyking met standaard grafietsubstrate.
3. Glasagtige bedekte grafiet:Die unieke glasagtige struktuur van dieSiC-laagbied uitstekende oppervlakhardheid, wat slytasie tydens hoëtemperatuurverwerking tot die minimum beperk.
4. Hoë Suiwerheid SiC-bedekking:Ons substraat verseker minimale kontaminasie in sensitiewe halfgeleierprosesse, wat betroubaarheid bied vir nywerhede wat streng materiaalsuiwerheid vereis.
5. Wye marktoepassing:DieSiC-bedekte grafietsusseptorDie mark bly groei namate die vraag na gevorderde SiC-bedekte produkte in halfgeleiervervaardiging toeneem, wat hierdie substraat as 'n sleutelspeler in beide die grafietwafeldraermark en die silikonkarbiedbedekte grafietbakkiesmark posisioneer.
Tipiese eienskappe van basisgrafietmateriaal:
| Skynbare Digtheid: | 1.85 g/cm3 |
| Elektriese Weerstand: | 11 μΩm |
| Buigsterkte: | 49 MPa (500 kgf/cm²) |
| Kushardheid: | 58 |
| As: | <5 dpm |
| Termiese geleidingsvermoë: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| KVS SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCbedekking | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Tipiese waarde |
| 晶体结构 / Kristalstruktuur | FCC β-fase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Digtheid | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度（500g vrag） |
| 晶粒大小 / Graangrootte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemiese suiwerheid | 99.99995% |
| 热容 / Hittekapasiteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimasietemperatuur | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Buigkrag | 415 MPa RT 4-punt |
| 杨氏模量 / Young se modulus | 430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃ |
| 导热系数 / Termiese Geleiding | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termiese uitbreiding (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy is die ware vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met verskillende bedekkings soos SiC-bedekking, TaC-bedekking, glasagtige koolstofbedekking, pirolitiese koolstofbedekking, ens., en kan verskeie pasgemaakte onderdele vir die halfgeleier- en fotovoltaïese industrie lewer.
Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaaloplossings vir u bied.
Ons ontwikkel voortdurend gevorderde prosesse om meer gevorderde materiale te verskaf, en het 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie ontwikkel wat die binding tussen die deklaag en die substraat stywer en minder geneig tot loslating kan maak.
Ons verwelkom u hartlik om ons fabriek te besoek, kom ons gesels verder!
