Supportu di grafite per u prucessu PECVD

Descrizzione corta:

Energia VETA barca di grafite PECVD per pannelli solari hè un cumpunente avanzatu cuncipitu specificamente per a pruduzzione di pannelli solari d'altu rendimentu. Aduprata in i prucessi di Deposizione Chimica di Vapore Avanzata da Plasma (PECVD), sta barca di grafite assicura una manipulazione ottimale di i materiali è una deposizione uniforme di film sottili nantu à e cellule solari. Cuncepita per a precisione è a durabilità, furnisce una cunduttività termica superiore, un'alta resistenza à a corrosione è una contaminazione minima, chì sò essenziali per a pruduzzione di pannelli solari efficienti è di alta qualità.

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Energia VETU supportu di grafite di u prucessu PECVD hè un cunsumabile di alta qualità adattatu per u prucessu PECVD (deposizione chimica di vapore migliorata da plasma). Stu supportu di grafite hè fattu di materiale di grafite di alta purezza è alta densità, cù una eccellente resistenza à alta temperatura, resistenza à a corrosione, stabilità dimensionale è altre caratteristiche, pò furnisce una piattaforma di supportu stabile per u prucessu PECVD, per assicurà l'uniformità è a planarità di a deposizione di film sottili.

I supporti di grafite per u prucessu PECVD anu e seguenti caratteristiche:

▪ Alta purezza: cuntenutu d'impurità estremamente bassu, chì evita a contaminazione di u film è garantisce a qualità di u film.

▪ Alta densità: alta densità, alta resistenza meccanica, capace di resiste à alte temperature è alte pressioni in l'ambiente PECVD.

▪ Bona stabilità dimensionale: piccula variazione dimensionale à alta temperatura, chì garantisce a stabilità di u prucessu.

▪ Eccellente cunduttività termica: trasferisce efficacemente u calore per impedisce u surriscaldamentu di a cialda.

▪ Forte resistenza à a currusione: capace di resiste à l'erosione da diversi gasi currusivi è plasma.

▪ Serviziu persunalizatu: i purtatori di grafite di diverse dimensioni è forme ponu esse persunalizati secondu i bisogni di u cliente.

Materiale di grafite da SGL:

Parametru tipicu: R6510
Indice	Norma di prova	Valore	Unità
Dimensione media di i grani	ISO 13320	10	μm
Densità apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosità aperta	DIN66133	10	%
Dimensione media di i pori	DIN66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistività elettrica specifica	DIN IEC 60413/402	13 anni	μΩm
Resistenza à a flessione	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistenza à a cumpressione	DIN 51910	130	MPa
Modulu di Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Espansione termica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Cunduttività termica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Hè specificamente cuncipitu per a fabricazione di cellule solari à alta efficienza, supportendu u processu di wafer di grande dimensione G12. U cuncepimentu ottimizatu di u trasportatore aumenta significativamente u rendimentu, permettendu tassi di rendimentu più elevati è costi di pruduzzione più bassi.

Articulu	Tipu	Numeru di purtatore di wafer
Barca PEVCD Grephite - A serie 156	156-13 barca di grefite	144
	156-19 barca di grefite	216
	156-21 barca di grefite	240
	156-23 barca di grafite	308
Barca PEVCD Grephite - A serie 125	Barca di grefite 125-15	196
	Barca di grefite 125-19	252
	Barca in grafite 125-21	280