SUT I WNEUD WAFFER SILICON
A wafferyn dafell o silicon tua 1 milimetr o drwch sydd ag arwyneb hynod wastad diolch i weithdrefnau sy'n dechnegol heriol iawn. Mae'r defnydd dilynol yn pennu pa weithdrefn tyfu crisial y dylid ei defnyddio. Yn y broses Czochralski, er enghraifft, mae'r silicon polygrisialog yn cael ei doddi a chaiff crisial hadau tenau fel pensil ei drochi yn y silicon tawdd. Yna caiff y grisial hadau ei gylchdroi a'i dynnu'n araf i fyny. Mae colossus trwm iawn, monogrisial, yn deillio o hyn. Mae'n bosibl dewis nodweddion trydanol y monogrisial trwy ychwanegu unedau bach o dopants purdeb uchel. Mae'r crisialau'n cael eu dopio yn unol â manylebau'r cwsmer ac yna'n cael eu sgleinio a'u torri'n dafelli. Ar ôl amrywiol gamau cynhyrchu ychwanegol, mae'r cwsmer yn derbyn ei wafferi penodedig mewn pecynnu arbennig, sy'n caniatáu i'r cwsmer ddefnyddio'r waffer ar unwaith yn ei linell gynhyrchu.
PROSES CZOCHRALSKI
Heddiw, mae cyfran fawr o'r monogrisialau silicon yn cael eu tyfu yn ôl proses Czochralski, sy'n cynnwys toddi silicon polygrisialog purdeb uchel mewn croeslen cwarts hyperpur ac ychwanegu'r dopant (fel arfer B, P, As, Sb). Mae grisial hadau monogrisialog tenau yn cael ei drochi yn y silicon tawdd. Yna mae grisial CZ mawr yn datblygu o'r grisial tenau hwn. Mae rheoleiddio manwl gywir tymheredd a llif y silicon tawdd, cylchdroi'r grisial a'r croeslen, yn ogystal â chyflymder tynnu'r grisial yn arwain at ingot silicon monogrisialog o ansawdd uchel iawn.
DULL PARTH ARNOFI
Mae monocrystalau a weithgynhyrchir yn ôl y dull parth arnofio yn ddelfrydol i'w defnyddio mewn cydrannau lled-ddargludyddion pŵer, fel IGBTs. Mae ingot silicon polygrisialog silindrog wedi'i osod dros goil anwythiad. Mae maes electromagnetig amledd radio yn helpu i doddi'r silicon o ran isaf y wialen. Mae'r maes electromagnetig yn rheoleiddio llif y silicon trwy dwll bach yn y coil anwythiad ac i'r monocrystal sy'n gorwedd isod (dull parth arnofio). Cyflawnir y dopio, fel arfer gyda B neu P, trwy ychwanegu sylweddau nwyol.
Amser postio: Mehefin-07-2021