KIJAN POU FÈ YON GOF SILISYÒM
A waflètse yon tranch silikon apeprè 1 milimèt epesè ki gen yon sifas trè plat gras a pwosedi ki teknikman trè difisil. Itilizasyon ki vin apre a detèmine ki pwosedi kwasans kristal ki ta dwe itilize. Nan pwosesis Czochralski a, pa egzanp, yo fonn silikon polikristalin nan epi yo plonje yon kristal grenn mens tankou yon kreyon nan silikon fonn lan. Apre sa, yo vire kristal grenn nan epi yo rale l anlè dousman. Sa bay yon gwo kolos, yon monokristal. Li posib pou chwazi karakteristik elektrik monokristal la lè w ajoute ti inite dopan ki gen gwo pite. Yo dope kristal yo dapre espesifikasyon kliyan an epi answit yo poli yo epi koupe yo an tranch. Apre plizyè etap pwodiksyon adisyonèl, kliyan an resevwa waf espesifik li yo nan yon anbalaj espesyal, ki pèmèt kliyan an itilize waf la imedyatman nan liy pwodiksyon li.
PWOSESIS CZOCHRALSKI
Jodi a, yon gwo pòsyon nan monokristal Silisyòm yo grandi dapre pwosesis Czochralski a, ki enplike fonn Silisyòm polikristalin ki gen anpil pite nan yon kribib kwatz ipèpi epi ajoute dopan an (anjeneral B, P, As, Sb). Yo plonje yon kristal grenn monokristalin mens nan Silisyòm fonn lan. Apre sa, yon gwo kristal CZ devlope apati kristal mens sa a. Regilasyon presi tanperati ak koule Silisyòm fonn lan, wotasyon kristal la ak kribib la, ansanm ak vitès rale kristal la bay yon lengote Silisyòm monokristalin ki gen yon kalite ekstrèmman wo.
METÒD ZÒN FLOTANT
Monokristal ki fabrike dapre metòd zòn flote a ideyal pou itilize nan konpozan semi-kondiktè pouvwa, tankou IGBT yo. Yon lengote silikon polikristalin silendrik monte sou yon bobin endiksyon. Yon chan elektwomayetik frekans radyo ede fonn silikon an nan pati ki pi ba nan baton an. Chan elektwomayetik la kontwole koule silikon an nan yon ti twou nan bobin endiksyon an epi sou monokristal ki anba a (metòd zòn flote). Dopaj la, anjeneral avèk B oswa P, reyalize lè yo ajoute sibstans gazez.
Dat piblikasyon: 7 jen 2021