COMO FACER UNHA OBLEA DE SILICIO
A obleaé unha rebanda de silicio de aproximadamente 1 milímetro de grosor que ten unha superficie extremadamente plana grazas a procedementos tecnicamente moi esixentes. O uso posterior determina que procedemento de crecemento de cristais se debe empregar. No proceso Czochralski, por exemplo, o silicio policristalino fúndese e un cristal semente fino como un lapis mergúllase no silicio fundido. Despois, o cristal semente xira e tírase lentamente cara arriba. O resultado é un coloso moi pesado, un monocristal. É posible seleccionar as características eléctricas do monocristal engadindo pequenas unidades de dopantes de alta pureza. Os cristais dópanse segundo as especificacións do cliente e logo líanse e córtanse en rebandas. Despois de varios pasos de produción adicionais, o cliente recibe as obleas especificadas nun envase especial, o que lle permite usar a oblea inmediatamente na súa liña de produción.
PROCESO DE CZOCHRALSKI
Hoxe en día, unha gran parte dos monocristais de silicio cultívanse segundo o proceso de Czochralski, que consiste en fundir silicio policristalino de alta pureza nun crisol de cuarzo hiperpuro e engadir o dopante (xeralmente B, P, As, Sb). Un cristal semente monocristalino fino mergúllase no silicio fundido. A partir deste cristal fino desenvólvese entón un gran cristal CZ. A regulación precisa da temperatura e o fluxo do silicio fundido, a rotación do cristal e do crisol, así como a velocidade de tracción do cristal, dá lugar a un lingote de silicio monocristalino de altísima calidade.
MÉTODO DA ZONA FLOTANTE
Os monocristais fabricados segundo o método da zona de flotación son ideais para o seu uso en compoñentes semicondutores de potencia, como os IGBT. Un lingote de silicio policristalino cilíndrico móntase sobre unha bobina de indución. Un campo electromagnético de radiofrecuencia axuda a fundir o silicio da parte inferior da vara. O campo electromagnético regula o fluxo de silicio a través dun pequeno orificio na bobina de indución e cara ao monocristal que se atopa debaixo (método da zona de flotación). O dopado, xeralmente con B ou P, conséguese engadindo substancias gasosas.
Data de publicación: 07-06-2021