КРЕМНИК ВАТЛЫН НИЧЕК ЯСАРГА
A вафлиякынча 1 миллиметр калынлыктагы кремний кисәге, ул техник яктан бик катлаулы процедуралар аркасында бик тигез өслеккә ия. Аннан соңгы куллану кристалл үстерүнең кайсы процедурасын кулланырга кирәклеген билгели. Мәсәлән, Чохральски процессында поликристалл кремний эретелә һәм карандаш кебек нечкә орлык кристаллы эретелгән кремнийга батырыла. Аннары орлык кристаллы әйләндерелә һәм әкрен генә өскә тартыла. Бик авыр колосс, монокристалл барлыкка килә. Югары чисталыктагы легирлауларның кечкенә берәмлекләрен өстәп, монокристаллның электр үзенчәлекләрен сайларга мөмкин. Кристалллар клиент таләпләренә туры китереп легирлана, аннары ялтыратыла һәм кисәкләргә киселә. Төрле өстәмә җитештерү этапларыннан соң, клиент билгеләнгән пластиналарны махсус төргәктә ала, бу клиентка пластинаны җитештерү линиясендә шунда ук кулланырга мөмкинлек бирә.
ЧОХРАЛЬСКИ ПРОЦЕССЫ
Бүгенге көндә кремний монокристалларының зур өлеше Чохральски процессы буенча үстерелә, ул поликристалл югары саф кремнийны гиперчиста кварц тигельендә эретү һәм кушылма (гадәттә B, P, As, Sb) өстәүне үз эченә ала. Нечкә, монокристалл орлык кристалы эрегән кремнийга маныла. Аннары бу нечкә кристалдан зур CZ кристалы барлыкка килә. Эретелгән кремний температурасын һәм агымын, кристалл һәм тигель әйләнүен, шулай ук кристалл тарту тизлеген төгәл көйләү бик югары сыйфатлы монокристалл кремний коелмасын бирә.
ЙӨЗҮ ЗОНАСЫ ЫСУЛЫ
Йөзү зонасы ысулы белән җитештерелгән монокристаллар IGBT кебек көч ярымүткәргеч компонентларында куллану өчен идеаль. Цилиндр формасындагы поликристалл кремний коесы индукция катушкасы өстенә урнаштырылган. Радиоешлыклы электромагнит кыры кремнийны стерженьнең аскы өлешеннән эретергә ярдәм итә. Электромагнит кыры кремний агымын индукция катушкасындагы кечкенә тишек аша һәм аста урнашкан монокристалга көйли (йөзү зонасы ысулы). Гадәттә B яки P белән кушылу газсыман матдәләр өстәү юлы белән башкарыла.
Бастырылган вакыты: 2021 елның 7 июне