CARA MEMBUAT WAFER SILIKON
A waferialah hirisan silikon setebal kira-kira 1 milimeter yang mempunyai permukaan yang sangat rata hasil daripada prosedur yang secara teknikalnya sangat mencabar. Penggunaan seterusnya menentukan prosedur pertumbuhan kristal yang harus digunakan. Dalam proses Czochralski, contohnya, silikon polikristalin dicairkan dan kristal biji yang nipis seperti pensil dicelupkan ke dalam silikon cair. Kristal biji kemudian diputar dan ditarik perlahan-lahan ke atas. Sebuah kolosus yang sangat berat, iaitu monokristal, terhasil. Ciri-ciri elektrik monokristal boleh dipilih dengan menambah unit kecil dopan berketulenan tinggi. Kristal didop mengikut spesifikasi pelanggan dan kemudian digilap dan dipotong menjadi hirisan. Selepas pelbagai langkah pengeluaran tambahan, pelanggan menerima wafer yang ditentukan dalam pembungkusan khas, yang membolehkan pelanggan menggunakan wafer tersebut dengan segera dalam barisan pengeluarannya.
PROSES CZOCHRALSKI
Hari ini, sebahagian besar monokristal silikon ditumbuhkan mengikut proses Czochralski, yang melibatkan pencairan silikon polikristalin berketulenan tinggi dalam mangkuk pijar kuarza hipertulen dan penambahan dopan (biasanya B, P, As, Sb). Kristal benih monokristalin yang nipis dicelupkan ke dalam silikon cair. Kristal CZ yang besar kemudiannya terbentuk daripada kristal nipis ini. Pengawalan suhu dan aliran silikon cair yang tepat, putaran kristal dan mangkuk pijar, serta kelajuan tarikan kristal menghasilkan jongkong silikon monokristalin yang berkualiti tinggi.
KAEDAH ZON ANGKAP
Monokristal yang dihasilkan mengikut kaedah zon apungan sesuai untuk digunakan dalam komponen semikonduktor kuasa, seperti IGBT. Jongkong silikon polikristal silinder dipasang di atas gegelung aruhan. Medan elektromagnet frekuensi radio membantu mencairkan silikon dari bahagian bawah rod. Medan elektromagnet mengawal aliran silikon melalui lubang kecil dalam gegelung aruhan dan ke atas monokristal yang terletak di bawah (kaedah zon apungan). Doping, biasanya dengan B atau P, dicapai dengan menambah bahan gas.
Masa siaran: 07-Jun-2021