КРЕМНИКТЕН ВАФЛЬДАН КАНТИП ЖАСАЛУУ КЕРЕК
A вафлиболжол менен 1 миллиметр калыңдыктагы кремнийдин кесими, ал техникалык жактан абдан татаал процедуралардын аркасында өтө жалпак бетке ээ. Андан кийинки колдонуу кайсы кристалл өстүрүү процедурасын колдонуу керектигин аныктайт. Мисалы, Чохральский процессинде поликристаллдык кремний эритилет жана карандаштай жука үрөн кристаллы эритилген кремнийге малынган. Андан кийин үрөн кристаллы айландырылып, акырындык менен өйдө тартылат. Абдан оор колосс, монокристалл пайда болот. Монокристалдын электрдик мүнөздөмөлөрүн жогорку тазалыктагы кошулмалардын кичинекей бирдиктерин кошуу менен тандоого болот. Кристаллдар кардардын талаптарына ылайык кошулуп, андан кийин жылмаланып, кесимдерге кесилет. Ар кандай кошумча өндүрүш кадамдарынан кийин, кардар көрсөтүлгөн пластиналарды атайын таңгактоодо алат, бул кардарга пластинаны өндүрүш линиясында дароо колдонууга мүмкүндүк берет.
ЧОХРАЛЬСКИЙ ПРОЦЕССИ
Бүгүнкү күндө кремний монокристаллдарынын көпчүлүк бөлүгү Чохральский процесси боюнча өстүрүлөт, ал поликристаллдык жогорку таза кремнийди өтө таза кварц тигелине эритип, кошулманы (адатта B, P, As, Sb) кошууну камтыйт. Жука, монокристаллдык үрөн кристаллы эриген кремнийге малынган. Андан кийин бул жука кристаллдан чоң CZ кристаллы пайда болот. Эриген кремнийдин температурасын жана агымын, кристаллдын жана тигельдин айлануусун, ошондой эле кристаллдын тартуу ылдамдыгын так жөнгө салуу өтө жогорку сапаттагы монокристаллдык кремний куймасын алууга алып келет.
ФЛОАТ ЗОНА ЫКМАСЫ
Калкып жүрүүчү зона ыкмасы боюнча жасалган монокристалдар IGBT сыяктуу кубаттуулуктагы жарым өткөргүч компоненттерде колдонуу үчүн идеалдуу. Цилиндр формасындагы поликристаллдык кремний куймасы индукциялык катушканын үстүнө орнотулган. Радио жыштыктагы электромагниттик талаа кремнийди стержендин астыңкы бөлүгүнөн эритүүгө жардам берет. Электромагниттик талаа кремнийдин агымын индукциялык катушкадагы кичинекей тешик аркылуу жана төмөндө жайгашкан монокристалга жөнгө салат (калкып жүрүүчү зона ыкмасы). Адатта B же P менен кошулуу газ түрүндөгү заттарды кошуу менен ишке ашат.
Жарыяланган убактысы: 2021-жылдын 7-июну