Силикон вафлийг хэрхэн хийх вэ
A вафлинь ойролцоогоор 1 миллиметр зузаантай цахиурын зүсмэл бөгөөд техникийн хувьд маш хүнд хэцүү процедурын ачаар маш тэгш гадаргуутай байдаг. Дараагийн хэрэглээ нь аль талст ургуулах аргыг ашиглах ёстойг тодорхойлдог. Жишээлбэл, Чохралскийн процесст поликристал цахиурыг хайлуулж, харандаа шиг нимгэн үрийн талстыг хайлсан цахиурт дүрнэ. Дараа нь үрийн талстыг эргүүлж, аажмаар дээш татна. Маш хүнд аварга том монокристал үүсдэг. Өндөр цэвэршилттэй хольцын жижиг хэсгүүдийг нэмж монокристалын цахилгаан шинж чанарыг сонгох боломжтой. Талстуудыг хэрэглэгчийн техникийн шаардлагын дагуу хольцж, дараа нь өнгөлж, зүсмэл болгон хуваадаг. Үйлдвэрлэлийн янз бүрийн нэмэлт алхмуудын дараа хэрэглэгч заасан вафлигаа тусгай савлагаанд хүлээн авдаг бөгөөд энэ нь хэрэглэгч вафлигаа үйлдвэрлэлийн шугамдаа шууд ашиглах боломжийг олгодог.
ЧОХРАЛЬСКИЙН ҮЙЛ ЯВЦ
Өнөөдөр цахиурын монокристаллын ихэнх хэсгийг Чохралскийн процессын дагуу ургуулж байгаа бөгөөд энэ нь поликристал өндөр цэвэршилттэй цахиурыг хэт цэвэр кварцын тигельд хайлуулж, хольц (ихэвчлэн B, P, As, Sb) нэмэхийг хэлнэ. Нимгэн, монокристал үрийн талстыг хайлсан цахиурт дүрнэ. Дараа нь энэ нимгэн талстаас том CZ талст үүсдэг. Хайлсан цахиурын температур ба урсгал, талст ба тигелийн эргэлт, мөн талстын татах хурдыг нарийн зохицуулснаар маш өндөр чанартай монокристалл цахиурын гулдмай үүсдэг.
ХӨВӨХ БҮСИЙН АРГА
Хөвөгч бүсийн аргаар үйлдвэрлэсэн монокристалууд нь IGBT гэх мэт цахилгаан хагас дамжуулагч эд ангиудад ашиглахад тохиромжтой. Цилиндр хэлбэртэй поликристал цахиурын гулдмайг индукцийн ороомог дээр суурилуулсан. Радио давтамжийн цахилгаан соронзон орон нь савааны доод хэсгээс цахиурыг хайлуулахад тусалдаг. Цахилгаан соронзон орон нь индукцийн ороомог дахь жижиг нүхээр дамжин доор байрлах монокристал руу цахиурын урсгалыг зохицуулдаг (хөвөгч бүсийн арга). Ихэвчлэн B эсвэл P-тэй хольсон хольцыг хийн бодис нэмэх замаар хийдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2021 оны 6-р сарын 7