የሲሊኮን ዋፈር እንዴት እንደሚሰራ

የሲሊኮን ዋፈር እንዴት እንደሚሰራ

A ዋፈርበቴክኒካዊ በጣም ተፈላጊ በሆኑ ሂደቶች ምክንያት በግምት 1 ሚሊ ሜትር ውፍረት ያለው የሲሊኮን ቁራጭ ሲሆን እጅግ በጣም ጠፍጣፋ ወለል አለው። ቀጣዩ አጠቃቀም የትኛው የክሪስታል ማብቀል ሂደት ጥቅም ላይ መዋል እንዳለበት ይወስናል። ለምሳሌ በዞክራልስኪ ሂደት ውስጥ፣ ፖሊክሪስታሊን ሲሊከን ይቀልጣል እና እርሳስ ያለው የዘር ክሪስታል ወደ ቀለጠ ሲሊከን ውስጥ ይጠመቃል። የዘር ክሪስታል ከዚያም ይሽከረከራል እና ቀስ በቀስ ወደ ላይ ይጎተታል። በጣም ከባድ ኮሎሰስ፣ ሞኖክሪስታል፣ ውጤት ያስገኛል። የሞኖክሪስታልን የኤሌክትሪክ ባህሪያት መምረጥ ይቻላል አነስተኛ ንፁህ ዶፓንትስ አሃዶችን በመጨመር። ክሪስታሎቹ በደንበኛው ዝርዝር መግለጫዎች መሠረት ይወሰዳሉ ከዚያም ይጸዳሉ እና ወደ ቁርጥራጮች ይቆረጣሉ። የተለያዩ ተጨማሪ የምርት ደረጃዎችን ካደረጉ በኋላ፣ ደንበኛው የተገለጹትን ዋፈሮች በልዩ ማሸጊያ ይቀበላል፣ ይህም ደንበኛው ዋፈሩን ወዲያውኑ በምርት መስመሩ ውስጥ እንዲጠቀም ያስችለዋል።

የቻክራልስኪ ሂደት

ዛሬ፣ የሲሊኮን ሞኖክሪስታሎች ከፍተኛ ክፍል የሚበቅለው በቾክራልስኪ ሂደት መሰረት ሲሆን ይህም በከፍተኛ ንፁህ ኳርትዝ ክሩሲብል ውስጥ ፖሊክሪስታሊን ከፍተኛ ንፁህ ሲሊኮንን ማቅለጥ እና ዶፓንት (ብዙውን ጊዜ B፣ P፣ As፣ Sb) መጨመርን ያካትታል። ቀጭን፣ ሞኖክሪስታሊን የዘር ክሪስታል ወደ ቀለጠ ሲሊከን ውስጥ ይጠመቃል። ከዚያም ከዚህ ቀጭን ክሪስታል ትልቅ CZ ክሪስታል ይወጣል። የቀለጠውን የሲሊኮን የሙቀት መጠን እና ፍሰት፣ የክሪስታል እና የክሩሲብል ሽክርክሪት፣ እንዲሁም የክሪስታል መጎተት ፍጥነት በጣም ከፍተኛ ጥራት ያለው ሞኖክሪስታሊን ሲሊከን ኢንጎት ያስገኛል።

የፍሎአት ዞን ዘዴ

እንደ ተንሳፋፊ ዞን ዘዴ መሰረት የተመረቱ ሞኖክሪስታሎች እንደ IGBTs ባሉ የኃይል ሴሚኮንዳክተር ክፍሎች ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ ናቸው። ሲሊንደራዊ ፖሊክሪስታሊን ሲሊከን ኢንጎት በኢንዳክሽን ኮይል ላይ ተጭኗል። የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ ኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ ሲሊኮንን ከዘንግ የታችኛው ክፍል ለማቅለጥ ይረዳል። የኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ የሲሊኮንን ፍሰት በኢንዳክሽን ኮይል ውስጥ ባለ ትንሽ ቀዳዳ በኩል እና ከታች ባለው ሞኖክሪስታል (የፍሎት ዞን ዘዴ) ይቆጣጠራል። ዶፒንግ፣ ብዙውን ጊዜ ከ B ወይም P ጋር፣ የሚገኘው የጋዝ ንጥረ ነገሮችን በመጨመር ነው።