HOE MEITSJE JO IN SILIKOANWAFERL

HOE MEITSJE JO IN SILIKOANWAFERL

A wafelis in plak silisium fan sawat 1 millimeter dik dat in ekstreem flak oerflak hat tanksij prosedueres dy't technysk tige easken binne. It folgjende gebrûk bepaalt hokker kristalgroeiproseduere brûkt wurde moat. Yn it Czochralski-proses wurdt bygelyks it polykristallijne silisium smelte en wurdt in potleadtinne siedkristal yn it smelte silisium doopt. It siedkristal wurdt dan draaid en stadich omheech lutsen. In tige swiere kolossus, in monokristal, ûntstiet. It is mooglik om de elektryske skaaimerken fan it monokristal te selektearjen troch lytse ienheden fan heechsuvere dopants ta te foegjen. De kristallen wurde dopeare neffens de spesifikaasjes fan 'e klant en dan gepolijst en yn plakjes snien. Nei ferskate ekstra produksjestappen krijt de klant syn oantsjutte wafers yn spesjale ferpakking, wêrtroch't de klant de wafer direkt yn syn produksjeline brûke kin.

CZOCHRALSKI-PROSES

Tsjintwurdich wurdt in grut part fan 'e silisiummonokristallen groeid neffens it Czochralski-proses, wêrby't polykristallijn heechsuver silisium yn in hypersuvere kwartskroes smelte wurdt en de dopant (meastal B, P, As, Sb) tafoege wurdt. In tinne, monokristallijne siedkristal wurdt yn it smelte silisium dûkt. In grutte CZ-kristal ûntstiet dan út dizze tinne kristal. Krekte regeling fan 'e temperatuer en stream fan it smelte silisium, de rotaasje fan it kristal en de kroes, en de lûksnelheid fan it kristal resultearret yn in monokristallijne silisiumstaaf fan ekstreem hege kwaliteit.

DRIEVENDE SÔNE METODE

Monokristallen dy't makke binne neffens de floatzone-metoade binne ideaal foar gebrûk yn krêfthealgeleiderkomponinten, lykas IGBT's. In silindryske polykristallijne silisiumstaaf wurdt monteard oer in ynduksjespoel. In radiofrekwinsje elektromagnetysk fjild helpt it silisium te smelten fan it ûnderste diel fan 'e stêf. It elektromagnetyske fjild regelet de silisiumstream troch in lyts gat yn 'e ynduksjespoel en op it monokristal dat derûnder leit (floatzone-metoade). De doping, meastal mei B of P, wurdt berikt troch it tafoegjen fan gasfoarmige stoffen.