YUAV UA LI CAS LOS UA IB LUB SILICON WAFER

YUAV UA LI CAS LOS UA IB LUB SILICON WAFER

A ncuav mog qab zibyog ib daim silicon uas tuab li 1 millimeter uas muaj qhov chaw tiaj tiaj heev ua tsaug rau cov txheej txheem uas nyuaj heev. Kev siv tom qab ntawd txiav txim siab seb cov txheej txheem cog crystal twg yuav tsum tau siv. Piv txwv li, hauv cov txheej txheem Czochralski, cov polycrystalline silicon yaj thiab cov noob siv lead ua nyias nyias raug muab tso rau hauv cov silicon yaj. Cov noob siv lead ua ces tig thiab maj mam rub mus rau saum. Ib qho loj heev, ib qho monocrystal, tshwm sim. Nws muaj peev xwm xaiv cov yam ntxwv hluav taws xob ntawm monocrystal los ntawm kev ntxiv cov khoom me me ntawm cov dopants purity siab. Cov siv lead ua raug doped raws li cov lus qhia ntawm cov neeg siv khoom thiab tom qab ntawd polished thiab txiav ua tej daim. Tom qab ntau yam kauj ruam ntxiv, tus neeg siv khoom tau txais nws cov wafers tshwj xeeb hauv cov ntim tshwj xeeb, uas tso cai rau tus neeg siv khoom siv cov wafer tam sim ntawd hauv nws cov kab ntau lawm.

CZOCHRALSKI PROCESS

Niaj hnub nim no, ib feem loj ntawm cov silicon monocrystals raug loj hlob raws li Czochralski txheej txheem, uas cuam tshuam nrog kev yaj polycrystalline high-purity silicon hauv lub hyperpure quartz crucible thiab ntxiv cov dopant (feem ntau yog B, P, As, Sb). Ib lub noob siv lead ua monocrystalline nyias nyias raug muab tso rau hauv cov silicon molten. Ib lub CZ crystal loj ces tsim los ntawm lub crystal nyias nyias no. Kev tswj hwm qhov kub thiab txias ntawm cov silicon molten, kev tig ntawm cov siv lead ua thiab crucible, nrog rau qhov ceev rub cov siv lead ua ua rau muaj cov monocrystalline silicon ingot zoo heev.

Txoj Kev Ua Haujlwm Hauv Cheeb Tsam

Cov monocrystals uas tsim tawm raws li txoj kev float zone yog qhov zoo tagnrho rau kev siv rau hauv cov khoom siv hluav taws xob semiconductor, xws li IGBTs. Ib lub cylindrical polycrystalline silicon ingot raug teeb tsa rau saum lub induction coil. Lub zog hluav taws xob hauv xov tooj cua pab yaj cov silicon los ntawm qhov qis dua ntawm tus pas nrig. Lub zog hluav taws xob tswj hwm cov silicon ntws los ntawm lub qhov me me hauv lub induction coil thiab mus rau ntawm monocrystal uas nyob hauv qab (float zone method). Kev doping, feem ntau nrog B lossis P, yog ua tiav los ntawm kev ntxiv cov tshuaj gaseous.