КРЕМНИЙЛІ ВАФЛЬДІ ҚАЛАЙ ЖАСАУ КЕРЕК
A вафлитехникалық тұрғыдан өте күрделі процедуралардың арқасында өте тегіс беті бар шамамен 1 миллиметр қалыңдықтағы кремний кесегі. Кейінгі пайдалану қандай кристалды өсіру процедурасын қолдану керектігін анықтайды. Мысалы, Чохральский процесінде поликристалды кремний ерітіліп, қарындаштай жұқа тұқымдық кристал балқытылған кремнийге батырылады. Содан кейін тұқымдық кристалл айналдырылып, баяу жоғары қарай тартылады. Өте ауыр монокристалл пайда болады. Монокристалдың электрлік сипаттамаларын жоғары тазалықтағы қоспалардың шағын бөліктерін қосу арқылы таңдауға болады. Кристалдар тұтынушының талаптарына сәйкес легирленеді, содан кейін жылтыратып, кесектерге кесіледі. Әртүрлі қосымша өндіріс кезеңдерінен кейін тұтынушы көрсетілген пластиналарды арнайы қаптамада алады, бұл тұтынушыға пластинаны өндіріс желісінде бірден пайдалануға мүмкіндік береді.
ЧОХРАЛЬСКИ ПРОЦЕСІ
Бүгінгі таңда кремний монокристалдарының үлкен бөлігі Чохральский процесіне сәйкес өсіріледі, бұл поликристалды жоғары таза кремнийді аса таза кварц тигельінде балқытып, қоспаны (әдетте B, P, As, Sb) қосуды қамтиды. Жұқа, монокристалды тұқым кристалы балқытылған кремнийге батырылады. Содан кейін осы жұқа кристалдан үлкен CZ кристалы пайда болады. Балқытылған кремний температурасы мен ағынын, кристал мен тигельдің айналуын, сондай-ақ кристалдың тарту жылдамдығын дәл реттеу өте жоғары сапалы монокристалды кремний құймасын алуға әкеледі.
ҚАЛҚЫМАЛЫ АЙМАҚ ӘДІСІ
Қалқымалы аймақ әдісі бойынша жасалған монокристалдар IGBT сияқты қуатты жартылай өткізгіш компоненттерде қолдануға өте ыңғайлы. Цилиндрлік поликристалды кремний құймасы индукциялық катушканың үстіне орнатылған. Радиожиілікті электромагниттік өріс кремнийдің өзектің төменгі бөлігінен еруіне көмектеседі. Электромагниттік өріс кремний ағынын индукциялық катушкадағы кішкентай тесік арқылы және төменде орналасқан монокристаллға реттейді (қалқымалы аймақ әдісі). Әдетте B немесе P арқылы қоспалау газ тәрізді заттарды қосу арқылы жүзеге асырылады.
Жарияланған уақыты: 2021 жылғы 7 маусым