KREMNIÝ WAFERINI NÄHILI ÝASAMALY
A waferTehniki taýdan örän talap ediji amallar sebäpli örän tekiz ýüze eýe bolan takmynan 1 millimetr galyňlykdaky kremniý bölegidir. Soňraky ulanyş haýsy kristal ösdürip ýetişdirmek usulynyň ulanylmalydygyny kesgitleýär. Mysal üçin, Çozhralski prosesinde polikristal kremniý ereýär we galam ýaly inçe tohum kristaly ereýän kremniýe batyrylýar. Soňra tohum kristaly aýlanýar we ýuwaşlyk bilen ýokary çekilýär. Örän agyr ägirt uly bir kristal, monokristal emele gelýär. Ýokary arassalykly garyndylaryň kiçi böleklerini goşmak arkaly monokristalyň elektrik häsiýetlerini saýlamak mümkin. Kristallar müşderiniň talaplaryna laýyklykda garyndylanýar we soňra jylaňlanýar we böleklere bölünýär. Dürli goşmaça önümçilik tapgyrlaryndan soň, müşderi görkezilen waferleri ýörite gaplamada alýar, bu bolsa müşderiniň waferi derrew önümçilik liniýasynda ulanmaga mümkinçilik berýär.
ÇOÇRALSKI PROSESI
Häzirki wagtda kremniý monokristallarynyň uly bölegi Çozhralski prosesine laýyklykda ösdürilip ýetişdirilýär, bu bolsa polikristal ýokary arassa kremniýi giper arassa kwars tigelinde eredip, garyndy (adatça B, P, As, Sb) goşmagy öz içine alýar. Inçe, monokristal tohum kristaly ereýän kremniýiň içine batyrylýar. Soňra bu inçe kristaldan uly CZ kristaly ösýär. Eriýän kremniýiň temperaturasyny we akymyny, kristalyň we tigeliň aýlanyşyny, şeýle hem kristalyň çekiş tizligini takyk düzgünleşdirmek örän ýokary hilli monokristal kremniý külçesini emele getirýär.
ÝÜZÜŞ ZONASY USULY
Ýüzýän zolak usuly boýunça öndürilen monokristallar IGBT ýaly güýçli ýarymgeçiriji böleklerinde ulanmak üçin amatlydyr. Silindr şekilli polikristal kremniý külçesi induksiýa spiralynyň üstüne oturdylýar. Radio ýygylykly elektromagnit meýdan kremniýiň sterženiň aşaky böleginden eremegine kömek edýär. Elektromagnit meýdan kremniýiň akymyny induksiýa spiralyndaky kiçijik deşik arkaly we aşakda ýerleşýän monokristalda düzgünleşdirýär (ýüzýän zolak usuly). Adatça B ýa-da P bilen goşulyş gaz maddalaryny goşmak arkaly amala aşyrylýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2021-nji ýylyň 7-nji iýuny