MAR A NÌ THU WAFEAR SILICON
A uaifle'S e sliseag de shilicean a th' ann mu 1 millimeatair de thighead aig a bheil uachdar gu math rèidh le taing do mhodhan-obrach a tha gu math dùbhlanach gu teicnigeach. Tha an cleachdadh às dèidh sin a’ dearbhadh dè am modh-obrach fàs criostail a bu chòir a chleachdadh. Anns a’ phròiseas Czochralski, mar eisimpleir, tha an silicean polycrystalline air a leaghadh agus tha criostal sìl tana mar pheansail air a thumadh anns an t-silicean leaghte. Tha criostal an t-sìl an uairsin air a thionndadh agus air a tharraing suas mean air mhean. Mar thoradh air an sin, gheibhear colossus gu math trom, monocrystal. Tha e comasach feartan dealain a’ mhonocrystal a thaghadh le bhith a’ cur aonadan beaga de dopants àrd-ghlanachd ris. Tha na criostalan air an dopadh a rèir sònrachaidhean an neach-ceannach agus an uairsin air an lìomhadh agus air an gearradh ann an sliseagan. Às deidh grunn cheumannan cinneasachaidh a bharrachd, gheibh an neach-ceannach na wafers ainmichte aige ann am pasgan sònraichte, a leigeas leis an neach-ceannach an wafer a chleachdadh sa bhad anns an loidhne cinneasachaidh aige.
PRÒISEAS CZOCHRALSKI
An-diugh, tha cuibhreann mòr de na monocriostalan silicon air am fàs a rèir pròiseas Czochralski, a tha a’ toirt a-steach leaghadh silicon polycrystalline àrd-ghlanachd ann an crucible grianchloch hyperpure agus a’ cur an dopant (mar as trice B, P, As, Sb) ris. Tha criostal sìl tana, monocrystalline air a bhogadh anns an t-silicon leaghte. An uairsin bidh criostal CZ mòr a’ leasachadh bhon chriostal tana seo. Bidh riaghladh mionaideach air teòthachd agus sruthadh an t-silicon leaghte, cuairteachadh a’ chriostail agus a’ chruinneachaidh, a bharrachd air astar tarraing a’ chriostail a’ leantainn gu ingot silicon monocrystalline de chàileachd air leth àrd.
MODH-OBRACH AN CRÌOCH-FLÙTHAIDH
Tha monocriostalan air an dèanamh a rèir dòigh an sòn snàmhaidh air leth freagarrach airson an cleachdadh ann am pàirtean leth-chonnsachaidh cumhachd, leithid IGBTan. Tha ingot silicon polycrystalline siolandair air a chuir thairis air coil inntrigidh. Bidh raon electromagnetic tricead rèidio a’ cuideachadh le bhith a’ leaghadh an t-silicon bhon phàirt ìosal den t-slat. Bidh an raon electromagnetic a’ riaghladh sruthadh an t-silicon tro tholl beag anns a’ choil inntrigidh agus a-steach don monocriostal a tha na laighe gu h-ìosal (dòigh an sòn snàmhaidh). Tha an doping, mar as trice le B no P, air a choileanadh le bhith a’ cur stuthan gasach ris.
Ùine puist: Ògmhios-07-2021