SİLİKON VAFİLİNİN HAZIRLANMASI
A vaflitexniki cəhətdən çox tələbkar prosedurlar sayəsində son dərəcə düz səthə malik təxminən 1 millimetr qalınlığında bir silikon dilimidir. Sonrakı istifadə hansı kristal yetişdirmə prosedurunun tətbiq olunacağını müəyyən edir. Məsələn, Çozralski prosesində polikristal silikon əridilir və qələm kimi nazik toxum kristalı əridilmiş silikona batırılır. Daha sonra toxum kristalı fırlanır və yavaşca yuxarı çəkilir. Çox ağır bir nəhəng, monokristal əmələ gəlir. Kiçik vahid yüksək təmizlikli aşqarlar əlavə etməklə monokristalın elektrik xüsusiyyətlərini seçmək mümkündür. Kristallar müştərinin spesifikasiyalarına uyğun olaraq aşqarlanır və sonra cilalanır və dilimlərə kəsilir. Müxtəlif əlavə istehsal mərhələlərindən sonra müştəri göstərilən lövhələri xüsusi qablaşdırmada alır ki, bu da müştəriyə lövhəni dərhal istehsal xəttində istifadə etməyə imkan verir.
ÇOXRALSKI PROSESİ
Bu gün silikon monokristallarının böyük bir hissəsi Çozxralski prosesinə uyğun olaraq yetişdirilir ki, bu da polikristal yüksək təmizlikli silikonu hipertəmiz kvars çuxurunda əritməkdən və aşqar (adətən B, P, As, Sb) əlavə etməkdən ibarətdir. Nazik, monokristal toxum kristalı əridilmiş silikona batırılır. Daha sonra bu nazik kristaldan böyük bir CZ kristalı əmələ gəlir. Əridilmiş silikon temperaturunun və axınının, kristalın və çuxurun fırlanmasının, eləcə də kristalın dartılma sürətinin dəqiq tənzimlənməsi son dərəcə yüksək keyfiyyətli monokristal silikon külçəsi ilə nəticələnir.
ÜZƏN ZONA METODU
Üzən zona metoduna əsasən istehsal olunan monokristallar IGBT kimi güclü yarımkeçirici komponentlərdə istifadə üçün idealdır. Silindrik polikristal silikon külçə induksiya bobininin üzərinə quraşdırılmışdır. Radiotezlikli elektromaqnit sahəsi çubuğun aşağı hissəsindən silikonun əridilməsinə kömək edir. Elektromaqnit sahəsi induksiya bobinindəki kiçik bir dəlikdən və aşağıda yerləşən monokristal üzərindəki silikon axınını tənzimləyir (üzən zona metodu). Adətən B və ya P ilə aşqarlama qazlı maddələrin əlavə edilməsi ilə əldə edilir.
Yazı vaxtı: 07 iyun 2021