సిలికాన్ పొరను ఎలా తయారు చేయాలి

సిలికాన్ పొరను ఎలా తయారు చేయాలి

A పొరఇది దాదాపు 1 మిల్లీమీటర్ మందం కలిగిన సిలికాన్ ముక్క, ఇది సాంకేతికంగా చాలా డిమాండ్ ఉన్న విధానాల కారణంగా చాలా చదునైన ఉపరితలం కలిగి ఉంటుంది. తదుపరి ఉపయోగం ఏ స్ఫటిక పెరుగుదల విధానాన్ని ఉపయోగించాలో నిర్ణయిస్తుంది. ఉదాహరణకు, క్జోక్రాల్స్కీ ప్రక్రియలో, పాలీక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ కరిగించబడుతుంది మరియు పెన్సిల్-సన్నని సీడ్ క్రిస్టల్‌ను కరిగిన సిలికాన్‌లో ముంచబడుతుంది. సీడ్ క్రిస్టల్‌ను తిప్పి నెమ్మదిగా పైకి లాగుతారు. చాలా భారీ కోలోసస్, ఒక మోనోక్రిస్టల్, ఫలితం. అధిక-స్వచ్ఛత డోపాంట్ల చిన్న యూనిట్లను జోడించడం ద్వారా మోనోక్రిస్టల్ యొక్క విద్యుత్ లక్షణాలను ఎంచుకోవడం సాధ్యమవుతుంది. స్ఫటికాలను కస్టమర్ స్పెసిఫికేషన్లకు అనుగుణంగా డోప్ చేసి, ఆపై పాలిష్ చేసి ముక్కలుగా కట్ చేస్తారు. వివిధ అదనపు ఉత్పత్తి దశల తర్వాత, కస్టమర్ దాని పేర్కొన్న వేఫర్‌లను ప్రత్యేక ప్యాకేజింగ్‌లో అందుకుంటారు, ఇది కస్టమర్ దాని ఉత్పత్తి లైన్‌లో వెంటనే వేఫర్‌ను ఉపయోగించడానికి అనుమతిస్తుంది.

చ్జోక్రాల్స్కి ప్రక్రియ

నేడు, సిలికాన్ మోనోక్రిస్టల్స్‌లో ఎక్కువ భాగం క్జోక్రాల్స్కీ ప్రక్రియ ప్రకారం పెరుగుతాయి, ఇందులో హైపర్‌ప్యూర్ క్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్‌లో పాలీక్రిస్టలైన్ హై-ప్యూరిటీ సిలికాన్‌ను కరిగించి డోపాంట్ (సాధారణంగా B, P, As, Sb) జోడించడం జరుగుతుంది. ఒక సన్నని, మోనోక్రిస్టలైన్ సీడ్ క్రిస్టల్ కరిగిన సిలికాన్‌లో ముంచబడుతుంది. ఈ సన్నని క్రిస్టల్ నుండి ఒక పెద్ద CZ క్రిస్టల్ అభివృద్ధి చెందుతుంది. కరిగిన సిలికాన్ ఉష్ణోగ్రత మరియు ప్రవాహం యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ, క్రిస్టల్ మరియు క్రూసిబుల్ భ్రమణం, అలాగే క్రిస్టల్ లాగడం వేగం ఫలితంగా చాలా అధిక నాణ్యత గల మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఇంగోట్ లభిస్తుంది.

ఫ్లోట్ జోన్ పద్ధతి

ఫ్లోట్ జోన్ పద్ధతి ప్రకారం తయారు చేయబడిన మోనోక్రిస్టల్స్ IGBT ల వంటి పవర్ సెమీకండక్టర్ భాగాలలో ఉపయోగించడానికి అనువైనవి. ఒక స్థూపాకార పాలీక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఇంగోట్ ఇండక్షన్ కాయిల్ పై అమర్చబడి ఉంటుంది. రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రం రాడ్ యొక్క దిగువ భాగం నుండి సిలికాన్‌ను కరిగించడానికి సహాయపడుతుంది. విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రం ఇండక్షన్ కాయిల్‌లోని ఒక చిన్న రంధ్రం ద్వారా మరియు క్రింద ఉన్న మోనోక్రిస్టల్‌పై సిలికాన్ ప్రవాహాన్ని నియంత్రిస్తుంది (ఫ్లోట్ జోన్ పద్ధతి). సాధారణంగా B లేదా P తో డోపింగ్ వాయు పదార్థాలను జోడించడం ద్వారా సాధించబడుతుంది.