KREMNIY VAFFINI QANDAY TAYLASH MUMKIN
A gofretBu qalinligi taxminan 1 millimetr bo'lgan kremniy bo'lagi bo'lib, texnik jihatdan juda talabchan protseduralar tufayli juda tekis yuzaga ega.Keyinchalik foydalanish kristall etishtirishning qaysi usulini qo'llash kerakligini aniqlaydi.Masalan, Czochralski jarayonida polikristalli kremniy eritiladi va erigan kremniyga qalamdek yupqa urug'li kristal botiriladi.Keyin chigit kristalli aylantiriladi va asta-sekin yuqoriga tortiladi.Juda og'ir kolossus, monokristal paydo bo'ladi.Monokristalning elektr xususiyatlarini yuqori tozalikdagi kichik birliklarni qo'shish orqali tanlash mumkin.Kristallar mijozning spetsifikatsiyasiga muvofiq doping qilinadi, so'ngra sayqallanadi va tilimga kesiladi.Har xil qo'shimcha ishlab chiqarish bosqichlaridan so'ng, mijoz o'zining belgilangan gofretlarini maxsus qadoqlarda oladi, bu esa mijozga gofretni darhol ishlab chiqarish liniyasida ishlatish imkonini beradi.
CZOCHRALSKI JARAYON
Bugungi kunda kremniy monokristallarining katta qismi Czochralski jarayoni bo'yicha o'stiriladi, bu polikristalli yuqori toza kremniyni gipersof kvarts tigelida eritib, dopant (odatda B, P, As, Sb) qo'shishni o'z ichiga oladi.Yupqa, monokristalli urug'li kristall eritilgan kremniyga botiriladi.Keyinchalik bu nozik kristaldan katta CZ kristali paydo bo'ladi.Eritilgan kremniyning harorati va oqimini, kristall va tigel aylanishini, shuningdek, kristalni tortish tezligini aniq tartibga solish juda yuqori sifatli monokristalli kremniy ingotini beradi.
FLOAT ZONA USULI
Float zonasi usuli bo'yicha ishlab chiqarilgan monokristallar IGBT kabi yarim o'tkazgich komponentlarida foydalanish uchun idealdir.Silindrsimon polikristalli kremniy ingot induksion lasan ustiga o'rnatilgan.Radiochastotali elektromagnit maydon tayoqning pastki qismidagi kremniyni eritishga yordam beradi.Elektromagnit maydon kremniy oqimini indüksiyon bobinidagi kichik teshikdan va pastda joylashgan monokristalga (suzuvchi zona usuli) tartibga soladi.Odatda B yoki P bilan dopingga gazsimon moddalarni qo'shish orqali erishiladi.
Yuborilgan vaqt: 2021-07-iyun