ЯК ЗРАБІЦЬ КРЭМІЕВУЮ ПЛІТКУ
A вафля— гэта пласцінка крэмнію таўшчынёй прыкладна 1 міліметр, якая мае надзвычай плоскую паверхню дзякуючы тэхнічна вельмі складаным працэдурам. Наступнае выкарыстанне вызначае, якую працэдуру вырошчвання крышталя варта выкарыстоўваць. Напрыклад, у працэсе Чахральскага полікрышталічны крэмній плавяць, і ў расплаўлены крэмній апускаюць затраўку тонкай, як аловак, рэшткі крышталя. Затым затраўка паварочваецца і павольна цягнецца ўверх. У выніку атрымліваецца вельмі цяжкі калос — монакрышталь. Электрычныя характарыстыкі монакрышталя можна выбраць, дадаючы невялікія адзінкі высакаякасных прымешак. Крышталі легуюцца ў адпаведнасці са спецыфікацыямі заказчыка, а затым паліруюцца і наразаюцца на лустачкі. Пасля розных дадатковых этапаў вытворчасці заказчык атрымлівае патрэбныя пласціны ў спецыяльнай упакоўцы, што дазваляе адразу выкарыстоўваць пласціну ў сваёй вытворчай лініі.
Працэс Чахральскага
Сёння значная частка монакрышталяў крэмнію вырошчваецца па працэсе Чахральскага, які прадугледжвае плаўленне полікрышталічнага крэмнію высокай чысціні ў звышчыстым кварцавым тыглі і даданне легуючай дабаўкі (звычайна B, P, As, Sb). Тонкі монакрышталічны затраўны крышталь апускаецца ў расплаўлены крэмній. Затым з гэтага тонкага крышталя развіваецца вялікі крышталь CZ. Дакладнае рэгуляванне тэмпературы і патоку расплаўленага крэмнію, кручэння крышталя і тыгля, а таксама хуткасці выцягвання крышталя прыводзіць да атрымання злітка монакрышталічнага крэмнію надзвычай высокай якасці.
МЕТАД ЗОНАЎ ПЛАВАЮЧАЙ ПЛАВЫ
Манакрышталі, вырабленыя метадам флоат-зоны, ідэальна падыходзяць для выкарыстання ў сілавых паўправадніковых кампанентах, такіх як IGBT. Цыліндрычны полікрышталічны крэмніевы злітак усталёўваецца над індукцыйнай шпулькай. Радыёчастотнае электрамагнітнае поле дапамагае расплавіць крэмній з ніжняй часткі стрыжня. Электрамагнітнае поле рэгулюе паток крэмнію праз невялікую адтуліну ў індукцыйнай шпульцы на монакрышталь, які знаходзіцца ніжэй (метад флоат-зоны). Легаванне, звычайна B або P, дасягаецца шляхам дадання газападобных рэчываў.
Час публікацыі: 07 чэрвеня 2021 г.