BÍ A ṢE LÈ ṢE WÀFÀ SILIKỌN

BÍ A ṢE LÈ ṢE WÀFÀ SILIKỌN

A waferjẹ́ ege silikoni tó nípọn tó ìwọ̀n milimita kan tí ó tẹ́jú gan-an nítorí àwọn ìlànà tí ó gba agbára púpọ̀ ní ti ìmọ̀ ẹ̀rọ. Lílo tí ó tẹ̀lé e yìí ló ń pinnu irú ìlànà ìdàgbàsókè kirisita tí ó yẹ kí a lò. Nínú ìlànà Czochralski, fún àpẹẹrẹ, a máa yọ́ silikoni polycrystalline a sì máa fi sílikoni tín-tín-pọ́nì sínú silikoni tí ó yọ́. Lẹ́yìn náà, a máa yí kirisita irugbin náà padà a sì máa fà á sókè díẹ̀díẹ̀. Agbára colossus tó wúwo gan-an, monocrystal, ló ń yọrí sí. Ó ṣeé ṣe láti yan àwọn ànímọ́ iná mànàmáná monocrystal nípa fífi àwọn ìwọ̀n kékeré ti àwọn dopants tí ó mọ́ tónítóní kún un. A máa ń fi àwọn kirisita náà sínú rẹ̀ gẹ́gẹ́ bí ìlànà oníbàárà ṣe sọ, a sì máa ń gé wọn sí wẹ́wẹ́. Lẹ́yìn onírúurú ìgbésẹ̀ ìṣẹ̀dá, oníbàárà náà máa ń gba àwọn wafer tí a sọ pàtó nínú àpò pàtàkì, èyí tí ó ń jẹ́ kí oníbàárà lo wafer náà lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ nínú ìlà ìṣẹ̀dá rẹ̀.

ÌLÀNÀ CZOCHRALSKI

Lónìí, a máa ń gbin ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn monocrystal silicon gẹ́gẹ́ bí ìlànà Czochralski, èyí tí ó ní nínú yíyọ́ polycrystalline high-purity silicon nínú hyperpure quartz crucible àti fífi dopant kún un (nígbà gbogbo B, P, As, Sb). A máa ń tẹ kristali irugbin monocrystalline sínú silicon tí ó yọ́. Crystal CZ ńlá kan yóò wá láti inú kristali tín-ín-rín yìí. Ìṣètò pípéye ti iwọn otutu silicon tí ó yọ́ àti ìṣàn, kristali àti crucible yiyi, àti iyara fífà kristali náà yóò yọrí sí ingot silicon monocrystalline tí ó ga gidigidi.

Ọ̀NÀ ÀGBÈGBÈ LÓFÒ

Àwọn monocrystals tí a ṣe gẹ́gẹ́ bí ọ̀nà float zone dára fún lílò nínú àwọn èròjà semiconductor power, bíi IGBTs. A gbé ingot silicon polycrystalline cylindrical sórí coil induction. Agbègbè electromagnetic frequency radio ran lọ́wọ́ láti yọ́ silicon láti apá ìsàlẹ̀ ọ̀pá náà. Agbègbè electromagnetic ń ṣe àkóso ìṣàn silicon nípasẹ̀ ihò kékeré kan nínú induction coil àti sí orí monocrystal tí ó wà ní ìsàlẹ̀ (ọ̀nà float zone). A ń ṣe doping náà, tí ó sábà máa ń jẹ́ pẹ̀lú B tàbí P, nípa fífi àwọn èròjà gaasi kún un.