BI O SE LE SE WAFER SILICON

BI O SE LE SE WAFER SILICON

A waferjẹ bibẹ pẹlẹbẹ ti ohun alumọni aijọju milimita 1 nipọn ti o ni dada alapin lalailopinpin o ṣeun si awọn ilana ti o nbeere ni imọ-ẹrọ pupọ.Lilo atẹle naa pinnu iru ilana didagba gara yẹ ki o lo.Ninu ilana Czochralski, fun apẹẹrẹ, ohun alumọni polycrystalline ti wa ni yo ati pe a ti bọ kristali irugbin tinrin ikọwe sinu ohun alumọni didà.Kirisita irugbin ti wa ni yiyi ati laiyara fa soke.Colossus ti o wuwo pupọ, monocrystal kan, awọn abajade.O ṣee ṣe lati yan awọn abuda itanna monocrystal nipa fifi awọn iwọn kekere ti awọn dopants mimọ-giga.Awọn kirisita ti wa ni doped ni ibamu pẹlu awọn alaye alabara ati lẹhinna didan ati ge sinu awọn ege.Lẹhin ọpọlọpọ awọn igbesẹ iṣelọpọ afikun, alabara gba awọn wafers pato rẹ ni apoti pataki, eyiti o fun laaye alabara lati lo wafer lẹsẹkẹsẹ ni laini iṣelọpọ rẹ.

Ilana CZOCHRALSKI

Loni, ipin nla ti awọn ohun alumọni silikoni ti dagba ni ibamu si ilana Czochralski, eyiti o kan yo ohun alumọni giga-put polycrystalline ni hyperpure quartz crucible ati fifi dopant (nigbagbogbo B, P, Bi, Sb).Tinrin, kristali irugbin monocrystalline ti wa ni ribọ sinu ohun alumọni didà.Kirisita CZ nla kan lẹhinna ndagba lati inu kirisita tinrin yii.Ilana deede ti iwọn otutu ohun alumọni didà ati sisan, gara ati iyipo crucible, bakanna bi awọn abajade iyara fifa gara gara ni ohun alumọni monocrystalline ti o ga julọ ingot.

LỌỌRỌ FLỌỌỌTỌ Zone

Monocrystals ti a ṣelọpọ ni ibamu si ọna agbegbe leefofo jẹ apẹrẹ fun lilo ninu awọn paati semikondokito agbara, gẹgẹbi awọn IGBT.Ingot silikoni polycrystalline iyipo ti wa ni gbigbe sori okun fifa irọbi kan.Aaye itanna igbohunsafẹfẹ redio ṣe iranlọwọ yo ohun alumọni lati apa isalẹ ti ọpá naa.Aaye itanna n ṣe ilana sisan ohun alumọni nipasẹ iho kekere kan ninu okun induction ati sori monocrystal ti o wa ni isalẹ (ọna agbegbe leefofo).Doping naa, nigbagbogbo pẹlu B tabi P, jẹ aṣeyọri nipasẹ fifi awọn nkan gaseous kun.


Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹta-07-2021
WhatsApp Online iwiregbe!