SİLİKON GOFRET NASIL YAPILIR
A gofretteknik olarak çok zorlu prosedürler sayesinde son derece düz bir yüzeye sahip, yaklaşık 1 milimetre kalınlığında bir silikon dilimidir. Sonraki kullanım, hangi kristal yetiştirme prosedürünün kullanılacağını belirler. Örneğin Czochralski işleminde, polikristalin silikon eritilir ve kalem inceliğinde bir tohum kristali erimiş silikona daldırılır. Tohum kristali daha sonra döndürülür ve yavaşça yukarı doğru çekilir. Çok ağır bir dev, bir monokristal ortaya çıkar. Monokristalin elektriksel özelliklerini, yüksek saflıkta katkı maddelerinin küçük birimleri eklenerek seçmek mümkündür. Kristaller, müşteri özelliklerine göre katkılanır ve daha sonra cilalanır ve dilimler halinde kesilir. Çeşitli ek üretim adımlarından sonra, müşteri belirtilen gofretlerini özel ambalajda alır ve bu da müşterinin gofreti üretim hattında hemen kullanmasına olanak tanır.
CZOCHRALSKI SÜRECİ
Günümüzde, silisyum monokristallerinin büyük bir kısmı, polikristalin yüksek saflıktaki silisyumun hiper saf kuvars bir potada eritilmesini ve katkı maddesinin (genellikle B, P, As, Sb) eklenmesini içeren Czochralski işlemine göre yetiştirilmektedir. İnce, monokristalin bir tohum kristali erimiş silisyuma daldırılır. Daha sonra bu ince kristalden büyük bir CZ kristali gelişir. Erimiş silisyum sıcaklığının ve akışının, kristal ve pota dönüşünün ve kristal çekme hızının hassas bir şekilde düzenlenmesi, son derece yüksek kaliteli bir monokristalin silisyum külçesi ile sonuçlanır.
FLOAT ZONE YÖNTEMİ
Yüzen bölge yöntemine göre üretilen monokristaller, IGBT'ler gibi güç yarı iletken bileşenlerinde kullanım için idealdir. Silindirik polikristalin bir silikon külçe, bir indüksiyon bobininin üzerine monte edilir. Radyo frekanslı bir elektromanyetik alan, çubuğun alt kısmından silikonun erimesine yardımcı olur. Elektromanyetik alan, indüksiyon bobinindeki küçük bir delikten ve altta yatan monokristale (yüzen bölge yöntemi) silikon akışını düzenler. Genellikle B veya P ile yapılan katkılama, gaz halindeki maddeler eklenerek elde edilir.
Gönderi zamanı: 07-Haz-2021