ЧӢ ТАВР ВАФЛИ СИЛИНИРО ТАЙЁР КАРДАН МУМКИН АСТ
A вафлияк буридаи кремний бо ғафсии тақрибан 1 миллиметр аст, ки ба шарофати расмиёте, ки аз ҷиҳати техникӣ хеле душворанд, сатҳи хеле ҳамвор дорад. Истифодаи минбаъда муайян мекунад, ки кадом тартиби парвариши кристалл бояд истифода шавад. Масалан, дар раванди Чохралски, кремнийи поликристаллӣ гудохта мешавад ва кристалли тухмии тунуки қалам ба кремнийи гудохта тар карда мешавад. Сипас кристалли тухмӣ гардонида мешавад ва оҳиста ба боло кашида мешавад. Як бузургии хеле вазнин, як монокристалл, ба даст меояд. Интихоби хусусиятҳои электрикии монокристалл бо илова кардани қисмҳои хурди допантҳои баландсифат имконпазир аст. Кристаллҳо мувофиқи мушаххасоти муштарӣ допинг карда мешаванд ва сипас сайқал дода мешаванд ва ба буридаҳо бурида мешаванд. Пас аз қадамҳои гуногуни иловагии истеҳсолӣ, муштарӣ вафлиҳои муайяншудаи худро дар бастабандии махсус мегирад, ки ба муштарӣ имкон медиҳад, ки вафлиро фавран дар хатти истеҳсолии худ истифода барад.
РАВАНДИ ЧОХРАЛЬСКИ
Имрӯз, қисми зиёди монокристаллҳои кремний мувофиқи раванди Чохралски парвариш карда мешаванд, ки гудохтани кремнийи поликристаллии тозаи баландро дар тигели кварсии гипертоза ва илова кардани допант (одатан B, P, As, Sb) дар бар мегирад. Як кристалли тухмии тунуки монокристаллӣ ба кремнийи гудохта тар карда мешавад. Сипас, як кристалли калони CZ аз ин кристалли тунук пайдо мешавад. Танзими дақиқи ҳарорат ва ҷараёни кремнийи гудохта, гардиши кристалл ва тигель, инчунин суръати кашидани кристалл боиси ба даст овардани реза кардани кремнийи монокристаллии хеле баландсифат мегардад.
УСУЛИ МИНТАҚАИ ШИНОКУНАНДА
Монокристаллҳое, ки мувофиқи усули минтақаи шинокунанда истеҳсол мешаванд, барои истифода дар ҷузъҳои нимноқилҳои барқӣ, ба монанди IGBT, беҳтаринанд. Резаи силиконии поликристаллии силиндрӣ дар болои ғалтаки индуксионӣ насб карда шудааст. Майдони электромагнитии басомади радиоӣ ба обшавии силикон аз қисми поёнии мила мусоидат мекунад. Майдони электромагнитӣ ҷараёни силиконро тавассути сӯрохи хурд дар ғалтаки индуксионӣ ва ба монокристали дар поён ҷойгиршуда танзим мекунад (усули минтақаи шинокунанда). Дохилкунӣ, одатан бо B ё P, бо илова кардани моддаҳои газӣ ба даст оварда мешавад.
Вақти нашр: 07 июни соли 2021