ဆီလီကွန်ဝေဖာပြုလုပ်နည်း

ဆီလီကွန်ဝေဖာပြုလုပ်နည်း

A ဝေဖာနည်းပညာပိုင်းအရ အလွန်ခက်ခဲသော လုပ်ထုံးလုပ်နည်းများကြောင့် အလွန်ပြားချပ်သော မျက်နှာပြင်ရှိသည့် ၁ မီလီမီတာခန့်ထူသော ဆီလီကွန်အချပ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ နောက်ဆက်တွဲအသုံးပြုမှုသည် မည်သည့်ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြုသင့်သည်ကို ဆုံးဖြတ်ပေးသည်။ ဥပမာအားဖြင့် Czochralski လုပ်ငန်းစဉ်တွင် polycrystalline ဆီလီကွန်ကို အရည်ပျော်စေပြီး ခဲတံကဲ့သို့ပါးလွှာသော မျိုးစေ့ပုံဆောင်ခဲကို အရည်ပျော်ဆီလီကွန်ထဲသို့ နှစ်ထားသည်။ ထို့နောက် မျိုးစေ့ပုံဆောင်ခဲကို လှည့်ပြီး အပေါ်သို့ ဖြည်းဖြည်းချင်းဆွဲတင်သည်။ အလွန်လေးလံသော monocrystal ဖြစ်ပေါ်လာသည်။ မြင့်မားသောသန့်စင်မှု dopants ယူနစ်ငယ်များကို ထည့်သွင်းခြင်းဖြင့် monocrystal ၏ လျှပ်စစ်ဝိသေသလက္ခဏာများကို ရွေးချယ်နိုင်သည်။ ပုံဆောင်ခဲများကို ဖောက်သည်၏ သတ်မှတ်ချက်များနှင့်အညီ dopants လုပ်ပြီးနောက် ඔප දැමී ...

ဇော့ချရယ်စကီ လုပ်ငန်းစဉ်

ယနေ့ခေတ်တွင် ဆီလီကွန် monocrystalline အများစုကို Czochralski လုပ်ငန်းစဉ်အရ ကြီးထွားလာစေပြီး ၎င်းတွင် hyperpure quartz crucible တွင် polycrystalline မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ဆီလီကွန်ကို အရည်ပျော်စေပြီး dopant (များသောအားဖြင့် B၊ P၊ As၊ Sb) ထည့်သွင်းခြင်းပါဝင်သည်။ ပါးလွှာသော monocrystalline အစေ့ပုံဆောင်ခဲကို အရည်ပျော်ဆီလီကွန်ထဲသို့ နှစ်ထားသည်။ ထို့နောက် ဤပါးလွှာသော ပုံဆောင်ခဲမှ CZ ပုံဆောင်ခဲကြီးတစ်ခု ဖြစ်ပေါ်လာသည်။ အရည်ပျော်ဆီလီကွန်၏ အပူချိန်နှင့် စီးဆင်းမှု၊ ပုံဆောင်ခဲနှင့် crucible လည်ပတ်မှုအပြင် ပုံဆောင်ခဲဆွဲအားအမြန်နှုန်းတို့ကို တိကျစွာထိန်းညှိခြင်းသည် အလွန်အရည်အသွေးမြင့် monocrystalline silicon ingot ကို ရရှိစေသည်။

Float Zone နည်းလမ်း

float zone နည်းလမ်းဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားသော monocrystals များသည် IGBTs ကဲ့သို့သော power semiconductor အစိတ်အပိုင်းများတွင် အသုံးပြုရန် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။ cylindrical polycrystalline silicon ingot ကို induction coil ပေါ်တွင် တပ်ဆင်ထားသည်။ ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်း လျှပ်စစ်သံလိုက်စက်ကွင်းသည် rod ၏ အောက်ပိုင်းမှ silicon ကို အရည်ပျော်စေရန် ကူညီပေးသည်။ လျှပ်စစ်သံလိုက်စက်ကွင်းသည် induction coil ရှိ အပေါက်ငယ်တစ်ခုမှတစ်ဆင့် အောက်တွင်ရှိသော monocrystal ပေါ်သို့ silicon စီးဆင်းမှုကို ထိန်းညှိပေးသည် (float zone နည်းလမ်း)။ ပုံမှန်အားဖြင့် B သို့မဟုတ် P ဖြင့် doping ကို ဓာတ်ငွေ့ပစ္စည်းများထည့်ခြင်းဖြင့် ရရှိသည်။