CARA MEMBUAT WAFER SILIKON
A kue waferIni adalah potongan silikon dengan ketebalan sekitar 1 milimeter yang memiliki permukaan sangat rata berkat prosedur yang secara teknis sangat menuntut. Penggunaan selanjutnya menentukan prosedur pertumbuhan kristal mana yang harus digunakan. Dalam proses Czochralski, misalnya, silikon polikristalin dilelehkan dan kristal benih setipis pensil dicelupkan ke dalam silikon cair. Kristal benih kemudian diputar dan ditarik perlahan ke atas. Hasilnya adalah kristal raksasa yang sangat berat, yaitu monokristal. Karakteristik listrik monokristal dapat dipilih dengan menambahkan unit kecil dopan dengan kemurnian tinggi. Kristal didoping sesuai dengan spesifikasi pelanggan, kemudian dipoles dan dipotong menjadi beberapa bagian. Setelah berbagai langkah produksi tambahan, pelanggan menerima wafer yang telah ditentukan dalam kemasan khusus, yang memungkinkan pelanggan untuk langsung menggunakan wafer tersebut di lini produksinya.
PROSES CZOCHRALSKI
Saat ini, sebagian besar monokristal silikon ditumbuhkan menurut proses Czochralski, yang melibatkan peleburan silikon polikristalin dengan kemurnian tinggi dalam wadah kuarsa yang sangat murni dan penambahan dopan (biasanya B, P, As, Sb). Kristal benih monokristalin tipis dicelupkan ke dalam silikon cair. Kristal CZ besar kemudian berkembang dari kristal tipis ini. Pengaturan yang tepat dari suhu dan aliran silikon cair, rotasi kristal dan wadah, serta kecepatan penarikan kristal menghasilkan ingot silikon monokristalin berkualitas sangat tinggi.
METODE ZONA MENGAPUNG
Monokristal yang diproduksi menurut metode zona apung ideal untuk digunakan dalam komponen semikonduktor daya, seperti IGBT. Batang silikon polikristalin silindris dipasang di atas kumparan induksi. Medan elektromagnetik frekuensi radio membantu melelehkan silikon dari bagian bawah batang. Medan elektromagnetik mengatur aliran silikon melalui lubang kecil di kumparan induksi dan menuju monokristal yang terletak di bawahnya (metode zona apung). Doping, biasanya dengan B atau P, dicapai dengan menambahkan zat gas.
Waktu posting: 07 Juni 2021