El avanzadoPaleta en voladizo de SiCEl soporte para obleas creado por vet-china ofrece una excelente solución para la fabricación de semiconductores. Esta paleta en voladizo está fabricada con SiC (carburo de silicio) y su alta dureza y resistencia al calor le permiten mantener un rendimiento óptimo en entornos corrosivos y de alta temperatura. El diseño de la paleta en voladizo proporciona un soporte fiable a la oblea durante el procesamiento, reduciendo el riesgo de fragmentación y daños.
Paleta en voladizo de SiCEs un componente especializado que se utiliza en equipos de fabricación de semiconductores, como hornos de oxidación, hornos de difusión y hornos de recocido. Su principal función es la carga y descarga de obleas, así como el soporte y transporte de obleas durante procesos de alta temperatura.
Estructuras comunesdeSiccantipalancappodrido: Una estructura en voladizo, fija en un extremo y libre en el otro, suele tener un diseño plano y con forma de pala.
VET Energy utiliza materiales de carburo de silicio recristalizado de alta pureza para garantizar la calidad.
| Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
| Propiedad | Valor típico |
| Temperatura de funcionamiento (°C) | 1600 °C (con oxígeno), 1700 °C (ambiente reductor) |
| Contenido de SiC | > 99,96% |
| Contenido gratuito de Si | < 0,1% |
| Densidad aparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porosidad aparente | < 16% |
| Resistencia a la compresión | > 600MPa |
| Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20 °C) |
| Resistencia al doblado en caliente | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Expansión térmica a 1500 °C | 4.70 10-6/°C |
| Conductividad térmica a 1200 °C | 23W/m•K |
| Módulo de elasticidad | 240 GPa |
| Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |
Las ventajas de la paleta voladiza de SiC avanzada de VET Energy para el procesamiento de obleas son:
-Alta estabilidad a altas temperaturas: utilizable en entornos superiores a 1600 °C;
-Bajo coeficiente de expansión térmica: mantiene la estabilidad dimensional, reduciendo el riesgo de deformación de la oblea;
-Alta pureza: menor riesgo de contaminación por metales;
-Inercia química: resistente a la corrosión, apto para diversos entornos gaseosos;
-Alta resistencia y dureza: Resistente al desgaste, larga vida útil;
-Buena conductividad térmica: ayuda a lograr un calentamiento uniforme de la oblea.
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