Paleta voladiza de SiC avanzada para el procesamiento de obleas

Breve descripción:

La paleta voladiza de SiC avanzada para el procesamiento de obleas, lanzada por vet-china, utiliza materiales de SiC de alta tecnología para mejorar la eficiencia y la precisión del procesamiento de obleas. La paleta voladiza de vet-china ofrece una excelente resistencia al calor y a la corrosión, lo que garantiza un rendimiento estable en la manipulación de obleas en entornos de fabricación exigentes, convirtiéndola en una opción ideal para mejorar el rendimiento de la producción.

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El avanzadoPaleta en voladizo de SiCEl soporte para obleas creado por vet-china ofrece una excelente solución para la fabricación de semiconductores. Esta paleta en voladizo está fabricada con SiC (carburo de silicio) y su alta dureza y resistencia al calor le permiten mantener un rendimiento óptimo en entornos corrosivos y de alta temperatura. El diseño de la paleta en voladizo proporciona un soporte fiable a la oblea durante el procesamiento, reduciendo el riesgo de fragmentación y daños.

Paleta en voladizo de SiCEs un componente especializado que se utiliza en equipos de fabricación de semiconductores, como hornos de oxidación, hornos de difusión y hornos de recocido. Su principal función es la carga y descarga de obleas, así como el soporte y transporte de obleas durante procesos de alta temperatura.

Estructuras comunesdeSiccantipalancappodrido: Una estructura en voladizo, fija en un extremo y libre en el otro, suele tener un diseño plano y con forma de pala.

VET Energy utiliza materiales de carburo de silicio recristalizado de alta pureza para garantizar la calidad.

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado
Propiedad	Valor típico
Temperatura de funcionamiento (°C)	1600 °C (con oxígeno), 1700 °C (ambiente reductor)
contenido de SiC	> 99,96%
Contenido gratuito de Si	< 0,1%
Densidad aparente	2,60-2,70 g/cm³
Porosidad aparente	< 16%
resistencia a la compresión	> 600MPa
Resistencia a la flexión en frío	80-90 MPa (20 °C)
Resistencia al doblado en caliente	90-100 MPa (1400 °C)
Expansión térmica a 1500 °C	4.70 10^-6/°C
Conductividad térmica a 1200 °C	23W/m•K
Módulo de elasticidad	240 GPa
Resistencia al choque térmico	Extremadamente bueno