Paleta voladiza de SiC avanzada para el procesamiento de obleas

Descripción breve:

La paleta voladiza avanzada de SiC para el procesamiento de obleas, lanzada por vet-china, utiliza materiales de SiC de alta tecnología para mejorar la eficiencia y la precisión del procesamiento. La paleta voladiza de Vet-china ofrece una excelente resistencia al calor y a la corrosión, lo que garantiza un manejo estable de las obleas en entornos de fabricación exigentes, lo que la convierte en la opción ideal para optimizar el rendimiento de la producción.

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El avanzadoPaleta voladiza de carburo de silicioEl sistema para el procesamiento de obleas, creado por vet-china, ofrece una excelente solución para la fabricación de semiconductores. Esta paleta voladiza está fabricada con carburo de silicio (SiC), y su alta dureza y resistencia al calor le permiten mantener un excelente rendimiento en entornos corrosivos y de alta temperatura. El diseño de la paleta voladiza permite un soporte fiable de la oblea durante el procesamiento, lo que reduce el riesgo de fragmentación y daños.

Paleta voladiza de carburo de silicioEs un componente especializado utilizado en equipos de fabricación de semiconductores, como hornos de oxidación, hornos de difusión y hornos de recocido; el uso principal es para la carga y descarga de obleas, soporta y transporta obleas durante procesos de alta temperatura.

Estructuras comunesdeSiccantipalancappodrido: Una estructura voladiza, fija en un extremo y libre en el otro, normalmente tiene un diseño plano y similar a una paleta.

VET Energy utiliza materiales de carburo de silicio recristalizado de alta pureza para garantizar la calidad.

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado
Propiedad	Valor típico
Temperatura de trabajo (°C)	1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor)
Contenido de SiC	> 99,96%
Contenido gratuito de Si	< 0,1%
Densidad aparente	2,60-2,70 g/cm³
Porosidad aparente	< 16%
Resistencia a la compresión	> 600MPa
Resistencia a la flexión en frío	80-90 MPa (20 °C)
Resistencia a la flexión en caliente	90-100 MPa (1400 °C)
Expansión térmica a 1500 °C	4.70 10^-6/°C
Conductividad térmica a 1200 °C	23W/m•K
Módulo elástico	240 GPa
Resistencia al choque térmico	Muy bueno