SiC-pinnoite/päällystetty grafiittialusta/tarjotin puolijohteille

Lyhyt kuvaus:

VET Energyn piikarbidipäällysteinen grafiittisuskeptori epitaksiaaliseen kasvuun on tehokas tuote, joka on suunniteltu tarjoamaan tasaista ja luotettavaa suorituskykyä pitkän aikaa. Sillä on erittäin hyvä lämmönkestävyys ja terminen tasaisuus, korkea puhtausaste ja eroosiokestävyys, mikä tekee siitä täydellisen ratkaisun kiekkojen käsittelysovelluksiin.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-tiedostona

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

SiC-pinnoite/grafiittisuskeptorin pinnoite puolijohteille

TheSiC-päällystetty grafiittialustaon erittäin kestävä ja tehokas ratkaisu, joka on suunniteltu vastaamaan puolijohdeteollisuuden tiukkoihin vaatimuksiin. Siinä on erittäin puhdas kerrospiikarbidipinnoite (SiC)Tämä substraatti tarjoaa poikkeuksellisen lämmönkestävyyden, hapettumisenkestävyyden ja pitkän käyttöiän, mikä tekee siitä ihanteellisen sovelluksiin MOCVD-prosesseissa, grafiittikiekkojen alustoilla ja muissa korkean lämpötilan ympäristöissä.

Ominaisuudet:
· Erinomainen lämmönsiirtokestävyys
· Erinomainen fyysinen iskunkestävyys
· Erinomainen kemikaalienkestävyys
· Erittäin korkea puhtaus
· Saatavuus monimutkaisessa muodossa
·Käyttökelpoinen hapettavassa ilmakehässä

Sovellus：

Tuotteen ominaisuudet ja edut:

1. Erinomainen lämmönkestävyys:Korkean puhtauden omaavaSiC-pinnoite, substraatti kestää äärimmäisiä lämpötiloja, mikä varmistaa tasaisen suorituskyvyn vaativissa ympäristöissä, kuten epitaksia ja puolijohdevalmistus.

2. Parannettu kestävyys:SiC-pinnoitetut grafiittikomponentit on suunniteltu kestämään kemiallista korroosiota ja hapettumista, mikä pidentää alustan käyttöikää verrattuna tavallisiin grafiittialustoihin.

3. Lasimainen pinnoitettu grafiitti:Ainutlaatuinen lasiainen rakenneSiC-pinnoitetarjoaa erinomaisen pinnan kovuuden, mikä minimoi kulumisen korkean lämpötilan käsittelyn aikana.

4. Erittäin puhdas piikarbidipinnoite:Substraattimme minimoi kontaminaation herkissä puolijohdeprosesseissa ja tarjoaa luotettavuutta teollisuudenaloille, jotka vaativat tiukkaa materiaalin puhtautta.

5. Laaja markkina-alue:TheSiC-päällysteinen grafiittisuskeptorimarkkinat kasvavat edelleen, kun puolijohdevalmistuksessa käytettävien edistyneiden piikarbidipäällysteisten tuotteiden kysyntä kasvaa, mikä asettaa tämän substraatin keskeiseksi toimijaksi sekä grafiittikiekkojen alustojen markkinoilla että piikarbidipäällysteisten grafiittialustojen markkinoilla.

Perusgrafiittimateriaalin tyypilliset ominaisuudet:

Näennäinen tiheys:	1,85 g/cm³
Sähköresistiivisyys:	11 μΩm
Taivutuslujuus:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore-kovuus:	58
Tuhka:	<5 ppm
Lämmönjohtavuus:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Sydän- ja verisuonitauti SiC薄膜基本物理性能 CVD-piikarbidin perusfysikaaliset ominaisuudetpinnoite
性质 / Kiinteistö	典型数值 / Tyypillinen arvo
晶体结构 / Crystal Structure	FCC β-vaihe 多晶，主要为（111）取向
密度 / Tiheys	3,21 g/cm³
硬度 / Kovuus	2500 维氏硬度 (500 g kuorma)
晶粒大小 / Grain Size	2–10 μm
纯度 / Kemiallinen puhtaus	99,99995 %
热容 / Lämpökapasiteetti	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimaatiolämpötila	2700 ℃
抗弯强度 / Taivutusvoima	415 MPa RT 4-piste
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt mutka, 1300 ℃
导热系数 / Lämmönjohtavuus	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy on räätälöityjen grafiitti- ja piikarbidituotteiden valmistaja, joka tarjoaa erilaisia pinnoitteita, kuten SiC-, TaC-, lasihiili- ja pyrolyyttistä hiilipinnoitetta. Se voi toimittaa erilaisia räätälöityjä osia puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle.

Tekninen tiimimme tulee kotimaisista huippututkimuslaitoksista ja voi tarjota sinulle ammattimaisempia materiaaliratkaisuja.

Kehitämme jatkuvasti edistyneitä prosesseja tarjotaksemme edistyneempiä materiaaleja, ja olemme kehittäneet ainutlaatuisen patentoidun teknologian, joka voi tehdä pinnoitteen ja alustan välisestä sidoksesta tiiviimmän ja vähemmän alttiita irtoamiselle.

Lämpimästi tervetuloa tutustumaan tehtaaseemme, keskustellaan lisää!