PECVD grafytwaferstipe

Koarte beskriuwing:

Untworpen foar presyzje en prestaasjes, is de grafytwaferstipe fan VET Energy it ideale materiaal foar gebrûk yn avansearre waferferwurking, wêr't hege termyske stabiliteit en konsekwinte prestaasjes kritysk binne. Oft jo no wurkje mei healgeleiderwafers of oare delikate substraten, dizze grafytstipe fan hege kwaliteit sil jo prosesbetrouberens en produktkwaliteit ferbetterje, wêrtroch it in ûnmisber ûnderdiel is foar moderne produksje.

Stjoer e-post nei ús Download as PDF

Produktdetail

Produktlabels

De grafytwaferstipe fan it VET Energy PECVD-proses is in kearnferbrûkber materiaal ûntworpen foar it PECVD-proses (plasma-ferbettere gemyske dampôfsetting). Dit produkt is makke fan grafytmateriaal mei hege suverens en hege tichtheid, mei poerbêste hege temperatuerresistinsje, korrosjebestriding, dimensjonele stabiliteit en oare skaaimerken, en kin in stabyl stipeplatfoarm leverje foar it PECVD-proses, om de uniformiteit en flakheid fan filmôfsetting te garandearjen.

It ûntwerp fan 'e "grafytstipe" fan 'e VET Energy-grafytwaferstipe kin net allinich de wafer effektyf stypje, mar ek termyske stabiliteit leverje yn 'e PECVD-omjouwing mei hege temperatuer en hege druk om de stabiliteit fan it proses te garandearjen.

VET Energy PECVD-proses grafytwaferstipe hat de folgjende skaaimerken:

▪Hege suverens:ekstreem leech ûnreinheidsgehalte, foarkom fersmoarging fan 'e film, om de kwaliteit fan' e film te garandearjen.

▪Hege tichtheid:hege tichtheid, hege meganyske sterkte, kin hege temperatuer en hege druk PECVD-omjouwing ferneare.

▪Goede dimensjonele stabiliteit:lytse dimensjonele feroarings by hege temperatuer om de stabiliteit fan it proses te garandearjen.

▪Uitstekende termyske geliedingsfermogen:effektyf waarmte oerdrage om oerferhitting fan wafers te foarkommen.

▪Sterke korrosjebestriding:Yn steat om eroazje te wjerstean troch ferskate korrosive gassen en plasma.

▪Oanpaste tsjinst:Grafytstipetafels fan ferskate maten en foarmen kinne oanpast wurde neffens de behoeften fan 'e klant.

Grafytmateriaal fan SGL:

Typyske parameter: R6510
Yndeks	Teststandert	Wearde	Ienheid
Gemiddelde nôtgrutte	ISO 13320	10	μm
Bulkdichtheid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Iepen porositeit	DIN66133	10	%
Middelgrutte poaren	DIN66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0.06	sm²/s
Rockwell-hurdens HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifike elektryske wjerstân	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bûgingssterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kompresjesterkte	DIN 51910	130	MPa
Young's modulus	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termyske útwreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termyske geliedingsfermogen (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje sinnesellenproduksje, en stipet de ferwurking fan grutte G12-wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochfier signifikant, wêrtroch hegere opbringsten en legere produksjekosten mooglik binne.

Ûnderdiel	Type	Nûmer waferdrager
PEVCD Grephite-boat - De 156-searje	156-13 grepytboat	144
	156-19 grepytboat	216
	156-21 grepytboat	240
	156-23 grafytboat	308
PEVCD Grephite-boat - De 125-searje	125-15 grepytboat	196
	125-19 grepytboat	252
	125-21 grafytboat	280