Portador de grafito para o proceso PECVD

Imaxe destacada de soporte de grafito para o proceso PECVD

Descrición curta:

Enerxía VETA barca de grafito PECVD para paneis solares é un compoñente avanzado deseñado especificamente para a produción de paneis solares de alto rendemento. Utilizada nos procesos de Deposición Química de Vapor Mellorada por Plasma (PECVD), esta barca de grafito garante unha manipulación óptima dos materiais e unha deposición uniforme de películas finas sobre células solares. Deseñada para a precisión e a durabilidade, proporciona unha condutividade térmica superior, unha alta resistencia á corrosión e unha contaminación mínima, que son esenciais para a produción de paneis solares eficientes e de alta calidade.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

Enerxía VETO soporte de grafito do proceso PECVD é un consumible de alta calidade deseñado para o proceso PECVD (deposición química de vapor mellorada por plasma). Este soporte de grafito está feito de material de grafito de alta pureza e alta densidade, con excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia á corrosión, estabilidade dimensional e outras características, o que pode proporcionar unha plataforma de soporte estable para o proceso PECVD, para garantir a uniformidade e a planitude da deposición de película fina.

Os soportes de grafito para o proceso PECVD teñen as seguintes características:

▪ Alta pureza: contido de impurezas extremadamente baixo, evitando a contaminación da película e garantindo a súa calidade.

▪ Alta densidade: alta densidade, alta resistencia mecánica, capaz de soportar altas temperaturas e altas presións en ambientes PECVD.

▪ Boa estabilidade dimensional: pequena variación dimensional a alta temperatura, o que garante a estabilidade do proceso.

▪ Excelente condutividade térmica: transfire a calor de forma eficaz para evitar o sobrequecemento da oblea.

▪ Forte resistencia á corrosión: capaz de resistir a erosión por diversos gases corrosivos e plasma.

▪ Servizo personalizado: os soportes de grafito de diferentes tamaños e formas pódense personalizar segundo as necesidades do cliente.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de proba	Valor	Unidade
Tamaño medio do gran	ISO 13320	10	μm
densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN66133	10	%
Tamaño medio dos poros	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistividade eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia á flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia á compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está deseñado especificamente para a fabricación de células solares de alta eficiencia, o que permite o procesamento de obleas de gran tamaño G12. O deseño optimizado do portador aumenta significativamente o rendemento, o que permite taxas de rendemento máis altas e custos de produción máis baixos.

Elemento	Tipo	Número de portador de obleas
Barco de grefita PEVCD - A serie 156	Barco de grefita 156-13	144
	Barco de grefita 156-19	216
	Barco de grefita 156-21	240
	Barco de grafito 156-23	308
Barco Grephite PEVCD - A serie 125	Barco de grefita 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280