Soporte de obleas de grafito PECVD

Descrición curta:

Deseñado para a precisión e o rendemento, o soporte de obleas de grafito de VET Energy é o material ideal para o seu uso no procesamento avanzado de obleas, onde unha alta estabilidade térmica e un rendemento consistente son fundamentais. Tanto se traballa con obleas de semicondutores como con outros substratos delicados, este soporte de grafito de alta calidade mellorará a fiabilidade do seu proceso e a calidade do produto, converténdoo nun compoñente indispensable para a fabricación moderna.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

O soporte de oblea de grafito para o proceso PECVD de VET Energy é un consumible central deseñado para o proceso PECVD (deposición química de vapor mellorada por plasma). Este produto está feito de material de grafito de alta pureza e alta densidade, con excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia á corrosión, estabilidade dimensional e outras características, o que pode proporcionar unha plataforma de soporte estable para o proceso PECVD, para garantir a uniformidade e a planitude da deposición da película.

O deseño de "soporte de grafito" do soporte de oblea de grafito de VET Energy non só pode soportar eficazmente a oblea, senón que tamén proporciona estabilidade térmica no ambiente PECVD de alta temperatura e alta presión para garantir a estabilidade do proceso.

O soporte de obleas de grafito do proceso PECVD de VET Energy ten as seguintes características:

▪Alta pureza:contido de impurezas extremadamente baixo, evita a contaminación da película para garantir a calidade da película.

▪Alta densidade:alta densidade, alta resistencia mecánica, pode soportar altas temperaturas e ambientes PECVD de alta presión.

▪Boa estabilidade dimensional:pequenas variacións dimensionais a alta temperatura para garantir a estabilidade do proceso.

▪Excelente condutividade térmica:transfiren a calor eficazmente para evitar o sobrequecemento da oblea.

▪Forte resistencia á corrosión:Capaz de resistir a erosión por diversos gases corrosivos e plasma.

▪Servizo personalizado:As mesas de soporte de grafito de diferentes tamaños e formas pódense personalizar segundo as necesidades do cliente.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de proba	Valor	Unidade
Tamaño medio do gran	ISO 13320	10	μm
densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN66133	10	%
Tamaño medio dos poros	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistividade eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia á flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia á compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está deseñado especificamente para a fabricación de células solares de alta eficiencia, o que permite o procesamento de obleas de gran tamaño G12. O deseño optimizado do portador aumenta significativamente o rendemento, o que permite taxas de rendemento máis altas e custos de produción máis baixos.

Elemento	Tipo	Número de portador de obleas
Barco de grefita PEVCD - A serie 156	Barco de grefita 156-13	144
	Barco de grefita 156-19	216
	Barco de grefita 156-21	240
	Barco de grafito 156-23	308
Barco Grephite PEVCD - A serie 125	Barco de grefita 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280