Koji je mehanizam planarizacije CMP-a?

Dual-Damascene je procesna tehnologija koja se koristi za proizvodnju metalnih međuspojeva u integriranim krugovima. To je daljnji razvoj Damascus procesa. Oblikovanjem prolaznih rupa i utora istovremeno u istom procesnom koraku i njihovim ispunjavanjem metalom ostvaruje se integrirana proizvodnja metalnih međuspojeva.

Zašto se zove Damask?

Grad Damask je glavni grad Sirije, a damaščanski mačevi poznati su po svojoj oštrini i izvrsnoj teksturi. Potreban je svojevrsni proces intarzije: prvo se potreban uzorak ugravira na površinu damaščanskog čelika, a prethodno pripremljeni materijali se čvrsto ugraviraju u ugravirane žljebove. Nakon što je intarzija završena, površina može biti malo neravna. Obrtnik će je pažljivo polirati kako bi osigurao ukupnu glatkoću. Ovaj proces je prototip dvostrukog damaščanskog procesa čipa. Prvo se u dielektrični sloj ugraviraju žljebovi ili rupe, a zatim se u njih puni metal. Nakon punjenja, višak metala će se ukloniti cmp-om.

Glavni koraci procesa dvostrukog damascena uključuju:

▪ Nanošenje dielektričnog sloja:

Nanesite sloj dielektričnog materijala, kao što je silicijev dioksid (SiO2), na poluvodičoblatna.

▪ Fotolitografija za definiranje uzorka:

Koristite fotolitografiju za definiranje uzorka prolaza i žljebova na dielektričnom sloju.

▪Jetkanje:

Prenesite uzorak prolaza i rovova na dielektrični sloj suhim ili mokrim postupkom jetkanja.

▪ Taloženje metala:

Nanesite metal, poput bakra (Cu) ili aluminija (Al), u prolaze i žljebove kako biste formirali metalne međuspojeve.

▪ Kemijsko-mehaničko poliranje:

Kemijsko-mehaničko poliranje metalne površine za uklanjanje viška metala i izravnavanje površine.

U usporedbi s tradicionalnim postupkom proizvodnje metalnih međuspojeva, postupak dvostrukog damascena ima sljedeće prednosti:

▪Pojednostavljeni koraci postupka:Istovremenim formiranjem prolaza i rovova u istom procesnom koraku, smanjuju se procesni koraci i vrijeme proizvodnje.

▪Poboljšana učinkovitost proizvodnje:Zbog smanjenja broja procesnih koraka, dvostruki damascenski postupak može poboljšati učinkovitost proizvodnje i smanjiti troškove proizvodnje.

▪Poboljšajte performanse metalnih međuspojeva:Dvostruki damascenski postupak može postići uže metalne međuspojeve, čime se poboljšava integracija i performanse sklopova.

▪Smanjite parazitski kapacitet i otpor:Korištenjem dielektričnih materijala s niskom k vrijednosti i optimizacijom strukture metalnih međuspojeva, mogu se smanjiti parazitski kapacitet i otpor, poboljšavajući brzinu i potrošnju energije sklopova.