Բարձր մաքրության քվարցե նավակ վաֆլի մշակման համար

Քվարցային վաֆլի նավակկիսահաղորդչային արտադրության, ֆոտովոլտային մարտկոցների արտադրության և առաջադեմ նյութերի հետազոտությունների և մշակման հիմնական կրող գործիք է, որը նախատեսված է բարձր ջերմաստիճանային գործընթացներում վաֆլիների կայուն փոխանցման և դիրքավորման համար: Այս արտադրանքը պատրաստված է գերբարձր մաքրության հալված սիլիցիումից (SiO2), որն ունի գերազանց ջերմաստիճանային դիմադրողականություն, քիմիական կայունություն և մետաղի գերցածր աղտոտվածության բնութագրեր, հարմար է դիֆուզիոն վառարանի, օքսիդացման վառարանի, PECVD/LPCVD-ի և այլ սարքավորումների համար, լայնորեն կիրառվում է վաֆլիների ծածկույթում, իոնային իմպլանտացիայում, բարձր ջերմաստիճանային թրծման և այլ միջուկային գործընթացներում:

VET Energy-ի քվարցային նավակի հիմնական առավելությունները՝

• Գերբարձր մաքրության նյութ
  Մաքրություն ≥99.99%: Խառնուրդների պարունակությունը (Na, K, Fe և այլն) <5 ppm, խուսափելով վաֆլիի աղտոտումից և երաշխավորելով չիպի բերքատվությունը:
  Ցածր տեղումներ և ադսորբցիա. մակերեսը գերհղկված է (Ra≤0.4μm)՝ մասնիկների կպչունությունը և գազի մնացորդները նվազեցնելու համար։
• Բարձր ջերմաստիճանի կայունություն
  Ջերմաստիճանի սահմանաչափ. Երկարաժամկետ աշխատանքային ջերմաստիճան՝ 1100℃, կարճաժամկետ գագաթնակետ՝ 1300℃, առանց դեֆորմացիայի, առանց բյուրեղային տեղումների։
  Ջերմային ընդարձակման ցածր գործակից (5.5x10-7/℃), ջերմային ցնցումների գերազանց դիմադրություն, հարմարվողականություն ջերմաստիճանի արագ բարձրացման և անկման գործընթացներին (օրինակ՝ RTP արագ թրծում):
• Ճշգրիտ կառուցվածքային նախագծում
  Ափսեի ճշգրտություն ± 0.1 մմ՝ համապատասխանեցնում է 2"-ից 12" վաֆլիները, հեռավորության միատարրության սխալը <0.05 մմ է, ապահովելով, որ վաֆլիները չունենան շեղում։
  Բարձր բեռնունակություն. մեկ նավակում առավելագույնը 50 վաֆլի բեռնվածություն (12 դյույմանոց վաֆլիների առումով), ապահովելով բարակ վաֆլիների (≥100 մկմ) կայուն տեղափոխումը։
• Քիմիական իներտություն
  Կոռոզիայի դիմադրություն. Դիմացկուն է թթվային (բացառությամբ HF), ալկալիների և օրգանական լուծիչների կոռոզիային, համատեղելի է CMP մաքրման գործընթացի հետ:
  Գերազանց գազային հերմետիկություն. արտահոսքի արագությունը <5x10-10 Պա.մ3/վրկ, հարմար է վակուումային և պաշտպանիչ գազային միջավայրերի համար։
• Երկար կյանք և պահպանողականություն
  Կյանքի տևողությունը՝ ≥ 5000 ցիկլ (նորմալ աշխատանքային պայմաններ), մակերեսը կարող է բազմիցս մաքրվել և օգտագործվել, ինչը նվազեցնում է ընդհանուր արժեքը։
  Մոդուլային դիզայն. աջակցում է մասնակի փոխարինմանը (օրինակ՝ նավակի մեկ ատամ), կրճատելով պարապուրդի ժամանակը։

Մենք առաջարկում ենք ինչպես թափանցիկ, այնպես էլ փայլեցված մակերեսներ՝ ըստ հաճախորդի պահանջների։

«Նինգբո ՎԵՏ Էներջի Թեքնոլոջի Քո.» ՍՊԸ-ն բարձր տեխնոլոգիական ձեռնարկություն է, որը կենտրոնանում է բարձրակարգ առաջադեմ նյութերի արտադրության և վաճառքի վրա, նյութեր և տեխնոլոգիաներ, ներառյալ գրաֆիտը, սիլիցիումի կարբիդը, կերամիկան, մակերեսային մշակումները, ինչպիսիք են SiC ծածկույթը, TaC ծածկույթը, ապակեածխածնային ծածկույթը, պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթը և այլն, այս արտադրանքը լայնորեն կիրառվում է ֆոտովոլտային, կիսահաղորդչային, նոր էներգիայի, մետալուրգիայի և այլն ոլորտներում:

Մեր տեխնիկական թիմը գալիս է առաջատար տեղական հետազոտական ​​հաստատություններից և մշակել է բազմաթիվ արտոնագրված տեխնոլոգիաներ՝ արտադրանքի կատարողականությունն ու որակը ապահովելու համար, ինչպես նաև կարող է հաճախորդներին տրամադրել մասնագիտական ​​​​նյութական լուծումներ: