Produsen Cina SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

Deskripsi Singkat:

Kemurnian < 5ppm
‣ Keseragaman doping yang baik
‣ Kepadatan dan daya rekat tinggi
‣ Anti korosi dan ketahanan karbon yang baik

‣ Kustomisasi profesional
‣ Waktu tunggu singkat
‣ Pasokan stabil
‣ Kontrol kualitas dan perbaikan berkelanjutan

Epitaksi GaN pada Safir(RGB/Mini/Mikro LED);
Epitaksi GaN pada Substrat Sisinar UVC;
Epitaksi GaN pada Substrat Si(Perangkat Elektronik);
Epitaksi Si pada Substrat Si(Sirkuit terpadu);
Epitaksi SiC pada Substrat SiC(Substrat);
Epitaksi InP pada InP

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Beli Susceptor MOCVD berkualitas tinggi secara online di Tiongkok

Wafer perlu melewati beberapa langkah sebelum siap digunakan dalam perangkat elektronik. Salah satu proses penting adalah epitaksi silikon, di mana wafer dibawa pada susceptor grafit. Sifat dan kualitas susceptor memiliki pengaruh penting pada kualitas lapisan epitaksial wafer.

Untuk fase pengendapan lapisan tipis seperti epitaksi atau MOCVD, VET menyediakan peralatan grafit ultra-murni yang digunakan untuk mendukung substrat atau "wafer". Inti dari proses ini, peralatan ini, penerima epitaksi atau platform satelit untuk MOCVD, pertama-tama mengalami lingkungan pengendapan:

● Suhu tinggi.
● Vakum tinggi.
● Penggunaan prekursor gas yang agresif.
● Nol kontaminasi, tidak ada pengelupasan.
● Tahan terhadap asam kuat selama operasi pembersihan

VET Energy adalah produsen produk grafit dan silikon karbida yang sesungguhnya dengan lapisan khusus untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat menyediakan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih canggih, dan telah menemukan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih kuat dan tidak mudah terkelupas.

Fitur produk kami:

1. Tahan terhadap oksidasi suhu tinggi hingga 1700℃.
2. Kemurnian tinggi dan keseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, partikel halus.
5. Masa pakai lebih lama dan lebih tahan lama

Penyakit kardiovaskular SiC Sifat fisik dasar CVD SiClapisan
Milik	Nilai Khas
Struktur Kristal	FCC fase β polikristalin, terutama orientasi (111)
Kepadatan	3,21 gram/cm³
Kekerasan	Kekerasan Vickers 2500 (beban 500g)
Ukuran Butiran	Ukuran 2~10 mikrometer
Kemurnian Kimia	99,99995%
Kapasitas Panas	640 J kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700℃
Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
Konduktivitas Termal	Daya 300Wm^-1·K^-1
Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1