Вафельді эпитаксиалды өсу металл органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) технологиясы арқылы жүзеге асырылады, онда ультра таза газдар реакторға айдалады және олар жоғары температурада қосылып, химиялық өзара әрекеттесу туғызады және жартылай өткізгіш пластинкаларға өте жұқа атомдық қабаттардағы материалдар мен қосылыс жартылай өткізгіштерді қалыптастыру үшін тұндырылады.
CVD жабдығында субстратты тікелей металға немесе жай ғана эпитаксиалды тұндыру үшін негізге қоюға болмайды, өйткені оған көптеген факторлар әсер етеді. Сондықтан субстратты ұстау үшін сусептор немесе науа қажет, содан кейін субстратта эпитаксиалды тұндыруды орындау үшін CVD технологиясын пайдаланыңыз. Бұл сезгіш аMOCVD графит сенсоры(сонымен қатар деп аталадыMOCVD графит науасы).
Оның құрылымы төмендегі суретте көрсетілген:
Неліктен графитті сезгішке CVD жабыны қажет?
Графит сенсоры MOCVD жабдығындағы негізгі компоненттердің бірі болып табылады. Бұл субстраттың тасымалдаушысы және қыздырғыш элементі. Оның термиялық тұрақтылық және термиялық біркелкі сияқты өнімділік параметрлері эпитаксиалды материалдың өсу сапасында шешуші рөл атқарады және эпитаксиалды жұқа пленка материалдарының біркелкілігі мен тазалығын тікелей анықтайды. Сондықтан оның сапасы эпитаксиалды пластиналарды дайындауға тікелей әсер етеді. Сонымен қатар, пайдалану санының көбеюімен және жұмыс жағдайларының өзгеруімен тозуға және жыртуға өте оңай, бұл шығын материалы болып табылады. Графиттің тамаша жылу өткізгіштігі мен тұрақтылығы оған MOCVD жабдығының негізгі компоненті ретінде үлкен артықшылық береді.
Дегенмен, егер ол тек таза графит болса, кейбір мәселелер туындайды. Өндіріс процесінде қалдық коррозиялық газдар мен металл органикалық заттар болады, ал графит қабылдағыш коррозияға ұшырап, құлап кетеді, бұл графит қабылдағыштың қызмет ету мерзімін айтарлықтай қысқартады. Сонымен бірге құлаған графит ұнтағы да вафлиді ластайды, сондықтан бұл мәселелерді негізді дайындау процесінде шешу қажет. Қаптау технологиясы беткі ұнтақты бекітуді қамтамасыз ете алады, жылу өткізгіштігін жоғарылатады және жылуды теңестіреді және бұл мәселені шешудің негізгі технологиясына айналды.
Қолдану ортасына және графит негізін пайдалану талаптарына сәйкес беттік жабын келесі сипаттамаларға ие болуы керек:
1. Жоғары тығыздық және толық қамту:Графит негізі жоғары температурада және коррозиялық жұмыс ортасында. Жақсы қорғаныс рөлін атқару үшін беті толығымен жабылуы керек, ал жабын жақсы тығыздыққа ие болуы керек.
2. Жақсы бет тегістігі:Монокристалды өсіру үшін қолданылатын графит негізі өте жоғары бет тегістігін қажет ететіндіктен, жабын дайындалғаннан кейін негіздің бастапқы тегістігі сақталуы керек, яғни жабу беті біркелкі болуы керек.
3. Жақсы байланыстыру күші:Графит негізі мен жабын материалы арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайту екеуінің арасындағы байланыстыру беріктігін тиімді түрде жақсарта алады. Жоғары және төмен температуралық термиялық циклдарды бастан өткергеннен кейін жабын оңай жарылып кетпейді.
4. Жоғары жылу өткізгіштік:Жоғары сапалы чиптің өсуі жылдам және біркелкі жылуды қамтамасыз ету үшін графит негізін талап етеді, сондықтан жабын материалы жоғары жылу өткізгіштікке ие болуы керек.
5. Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі және коррозияға төзімділігі:Қаптама жоғары температурада және коррозиялық жұмыс ортасында тұрақты жұмыс істей алуы керек.
Термиялық тұрақтылық, жылу біркелкілігі және басқа да өнімділік параметрлеріSiC қапталған графит сенсорыэпитаксиалды материалдың өсу сапасында шешуші рөл атқарады, сондықтан ол MOCVD жабдығының негізгі негізгі құрамдас бөлігі болып табылады.
Қаптау ретінде β-SiC (3C-SiC) кристалды түрі таңдалады. Басқа кристалдық пішіндермен салыстырғанда, бұл кристалдық пішін жақсы термодинамикалық тұрақтылық, тотығуға төзімділік және коррозияға төзімділік сияқты тамаша қасиеттерге ие. Сонымен бірге оның жылу өткізгіштігі бар, ол негізінен графиттікіне сәйкес келеді, осылайша графит негізіне ерекше қасиеттер береді. Ол қызмет көрсету кезінде жоғары температуралық тотығудан және коррозиядан және ұнтақты жоғалтудан туындаған графит негізінің бұзылуын тиімді шеше алады және графит негізінің бетін тығыз, кеуекті емес, жоғары температураға төзімді, коррозияға қарсы, тотығуға қарсы және басқа сипаттамаларға айналдырады, осылайша кристалды эпитаксиалды сапасын және қызмет ету мерзімін жақсартады пештер).
Жоғары температура мен коррозияға төзімді MOCVD графит науасын/сусепторын қалай таңдауға болады?
Таңдау кезінде аграфит науасы немесе MOCVD үшін сенсоржоғары температуралық коррозияға төзімді, келесі негізгі факторларды ескеру қажет:
1. Материалдың тазалығы:Жоғары таза графиттік материалдар жоғары температурада коррозияға және тотығуға жақсы қарсы тұра алады және қоспалардың тұндыру процесіне әсерін азайтады.
2. Тығыздығы және кеуектілігі:Тығыздығы жоғары және кеуектілігі төмен графит науалары жақсы механикалық беріктікке және коррозияға төзімділікке ие және газдың енуі мен материал эрозиясын тиімді болдырмайды.
3. Жылу өткізгіштік:Жоғары жылу өткізгіштігі бар графит науасы жылуды біркелкі таратуға, термиялық кернеуді азайтуға және жабдықтың тұрақтылығы мен қызмет ету мерзімін жақсартуға көмектеседі.
4. Беттік өңдеу:Арнайы беттік өңдеуден өткен графит паллеттері, мысалы, жабу немесе қаптау, олардың коррозияға төзімділігін және тозуға төзімділігін одан әрі арттыра алады.
5. Өлшемі мен пішіні:MOCVD жабдығының нақты талаптарына сәйкес науаның жабдықпен үйлесімділігін және жұмыс істеу ыңғайлылығын қамтамасыз ету үшін сәйкес өлшем мен пішінді таңдаңыз.
6. Өндірушінің беделі:Өнім сапасының сенімділігін және сатудан кейінгі қызмет көрсетуді қамтамасыз ету үшін жақсы беделі мен бай тәжірибесі бар өндірушіні таңдаңыз.
7. Шығындық тиімділік:Техникалық талаптарды қанағаттандыру негізінде экономикалық тиімділікті қарастырыңыз және құны жоғары өнімді таңдаңыз.
VET Energy – жоғары таза графитті сенсорды жеткізуші, біз санаттардың кең ауқымын ұсынамыз және оны әртүрлі брендтер, модельдер және техникалық сипаттамалардағы MOCVD жабдықтарында пайдалануға болады. TheSiC қапталған графит сенсорыVET Energy компаниясы шығарған жабынның байланыс нүктелері және әлсіз байланыстары жоқ. Қызмет көрсету мерзімі бойынша олар әртүрлі қажеттіліктері бар тұтынушылардың талаптарын қанағаттандыра алады (соның ішінде хлоры бар атмосфераны пайдалану) және тұтынушылар кеңес алуға және сұрауға шақырады.
Жіберу уақыты: 01 наурыз 2025 ж