Пластинаның эпитаксиалды өсуі металл органикалық химиялық бу тұндыру (MOCVD) технологиясы арқылы жүзеге асырылады, онда ультра таза газдар реакторға енгізіліп, ұсақ өлшенеді, осылайша олар жоғары температурада химиялық өзара әрекеттесуді тудыру үшін біріктіріліп, материалдар мен қосылыс жартылай өткізгіштердің эпитаксиясын қалыптастыру үшін өте жұқа атом қабаттарындағы жартылай өткізгіш пластинкаларға тұндырылады.
CVD жабдықтарында негізді тікелей металлға немесе жай ғана негізге эпитаксиалды тұндыру үшін қоюға болмайды, себебі оған көптеген факторлар әсер етеді. Сондықтан, негізді ұстап тұру үшін сусцептор немесе науа қажет, содан кейін негізге эпитаксиалды тұндыру үшін CVD технологиясын қолдану керек. Бұл сусцептор...MOCVD графит сусцепторы(сонымен қатар аталадыMOCVD графит науасы).
Оның құрылымы төмендегі суретте көрсетілген:
Неліктен графит сусцепторына CVD жабыны қажет?
Графит сусцепторы MOCVD жабдығының негізгі компоненттерінің бірі болып табылады. Ол негіздің тасымалдаушысы және қыздыру элементі болып табылады. Оның термиялық тұрақтылығы және термиялық біркелкілігі сияқты өнімділік параметрлері эпитаксиалды материалдың өсу сапасында шешуші рөл атқарады және эпитаксиалды жұқа қабықшалы материалдардың біркелкілігі мен тазалығын тікелей анықтайды. Сондықтан оның сапасы эпитаксиалды пластиналарды дайындауға тікелей әсер етеді. Сонымен қатар, пайдалану санының артуымен және жұмыс жағдайларының өзгеруімен оны тозу өте оңай, ол тұтынылатын материал болып табылады. Графиттің тамаша жылу өткізгіштігі мен тұрақтылығы оған MOCVD жабдығының негізгі компоненті ретінде үлкен артықшылық береді.
Дегенмен, егер ол тек таза графит болса, кейбір мәселелер туындайды. Өндіріс процесінде қалдық коррозиялық газдар мен металл органикалық заттар болады, ал графит сусцепторы коррозияға ұшырап, құлап кетеді, бұл графит сусцепторының қызмет ету мерзімін айтарлықтай қысқартады. Сонымен қатар, құлаған графит ұнтағы пластинаның ластануына әкеледі, сондықтан бұл мәселелерді негізді дайындау процесінде шешу қажет. Қаптау технологиясы беткі ұнтақты бекітуді қамтамасыз ете алады, жылу өткізгіштігін арттырады және жылу таралуын теңестіре алады және бұл мәселені шешудің негізгі технологиясына айналды.
Графит негізінің қолданылу ортасы мен пайдалану талаптарына сәйкес, беттік жабын келесі сипаттамаларға ие болуы керек:
1. Жоғары тығыздық және толық жабын:Графит негізі жоғары температурада және коррозиялық жұмыс ортасында болады. Беті толығымен жабылған болуы керек, ал жабын жақсы қорғаныс рөлін атқару үшін тығыздығы жақсы болуы керек.
2. Бетінің жақсы тегістігі:Монокристалды өсіру үшін қолданылатын графит негізі өте жоғары беттік тегістікті қажет ететіндіктен, жабын дайындалғаннан кейін негіздің бастапқы тегістігі сақталуы керек, яғни жабын беті біркелкі болуы керек.
3. Жақсы байланыс күші:Графит негізі мен жабын материалы арасындағы жылу кеңею коэффициентінің айырмашылығын азайту екеуінің арасындағы байланыс беріктігін тиімді түрде жақсарта алады. Жоғары және төмен температуралы жылу циклдарын бастан кешіргеннен кейін жабынның жарылуы оңай емес.
4. Жоғары жылу өткізгіштік:Жоғары сапалы жоңқа өсуі графит негізін тез және біркелкі жылумен қамтамасыз етуді талап етеді, сондықтан жабын материалы жоғары жылу өткізгіштікке ие болуы керек.
5. Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділік және коррозияға төзімділік:Қаптама жоғары температурада және коррозиялық жұмыс ортасында тұрақты жұмыс істей алуы керек.
Термиялық тұрақтылық, термиялық біркелкілік және басқа да өнімділік параметрлеріSiC қапталған графит сусцепторыэпитаксиалды материалдың өсу сапасында шешуші рөл атқарады, сондықтан ол MOCVD жабдығының негізгі құрамдас бөлігі болып табылады.
β-SiC (3C-SiC) кристалдық формасы жабын ретінде таңдалады. Басқа кристалдық формалармен салыстырғанда, бұл кристалдық форма жақсы термодинамикалық тұрақтылық, тотығуға төзімділік және коррозияға төзімділік сияқты бірқатар тамаша қасиеттерге ие. Сонымен қатар, оның жылу өткізгіштігі негізінен графиттікіне сәйкес келеді, осылайша графит негізіне ерекше қасиеттер береді. Ол жоғары температуралы тотығу мен коррозиядан және қызмет көрсету кезінде ұнтақтың жоғалуынан туындаған графит негізінің істен шығуын тиімді түрде шеше алады және графит негізінің бетін тығыз, кеуекті емес, жоғары температураға төзімді, коррозияға қарсы, тотығуға қарсы және басқа да сипаттамаларды жасай алады, осылайша кристалдық эпитаксиалды сапасын және графит негізінің қызмет ету мерзімін жақсартады (SiC жабыны бар графит негізінің қызмет ету мерзімі пештерде өлшенеді).
Жоғары температура мен коррозияға төзімді MOCVD графит науасын/сусепторын қалай таңдауға болады?
Таңдау кезіндеграфит науасы немесе MOCVD үшін сенсоржоғары температуралық коррозияға төзімді, келесі негізгі факторларды ескеру қажет:
1. Материалдың тазалығы:Жоғары тазалықтағы графит материалдары жоғары температурада коррозия мен тотығуға жақсы төзімді және қоспалардың тұндыру процесіне әсерін азайтады.
2. Тығыздық және кеуектілік:Тығыздығы жоғары және кеуектілігі төмен графит науалары механикалық беріктігі мен коррозияға төзімділігі жоғары, сонымен қатар газдың енуі мен материал эрозиясының алдын алады.
3. Жылу өткізгіштік:Жоғары жылу өткізгіштік графит науасы жылуды біркелкі таратуға, жылу кернеуін азайтуға және жабдықтың тұрақтылығы мен қызмет ету мерзімін жақсартуға көмектеседі.
4. Беттік өңдеу:Арнайы беткі өңдеуден, мысалы, жабынмен қаптаудан немесе қаптаудан өткен графит паллеттер олардың коррозияға төзімділігін және тозуға төзімділігін одан әрі арттыра алады.
5. Өлшемі мен пішіні:MOCVD жабдығының нақты талаптарына сәйкес, науаның жабдықпен үйлесімділігін және пайдаланудың ыңғайлылығын қамтамасыз ету үшін тиісті өлшем мен пішінді таңдаңыз.
6. Өндірушінің беделі:Өнім сапасының сенімділігі мен сатудан кейінгі қызмет көрсетуді қамтамасыз ету үшін жақсы беделге және бай тәжірибесі бар өндірушіні таңдаңыз.
7. Шығындардың тиімділігі:Техникалық талаптарды орындау негізінде шығындардың тиімділігін ескеріп, шығындары жоғары өнімді өнімдерді таңдаңыз.
VET Energy - жоғары тазалықтағы графит сусцепторларын жеткізуші, біз санаттар ауқымын ұсынамыз және әртүрлі брендтердің, модельдердің және сипаттамалардың MOCVD жабдықтарында қолданыла алады.SiC қапталған графит сусцепторыVET Energy компаниясы шығарған өнімдерде жабынмен жанасу нүктелері және әлсіз байланыстар жоқ. Қызмет ету мерзімі тұрғысынан олар әртүрлі қажеттіліктері бар тұтынушылардың талаптарын қанағаттандыра алады (хлор құрамдас атмосфераны пайдалануды қоса алғанда) және тұтынушылар кеңес алуға және сұрауға шақырылады.
Жарияланған уақыты: 01.03.2025