Porøs tantalkarbidbelagt grafitrådring
Porøs tantalkarbid (TaC) belagt grafitter et nøkkelmateriale utviklet spesielt for de høytemperatur, svært korrosive miljøene i halvlederproduksjon. Substratet er isostatisk grafitt med høy renhet, belagt med et jevnt porøst tantalkarbidbelegg ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD). TaC har en ekstremt høy hardhet (9-10 på Mohs-skalaen) og et smeltepunkt på 3880 °C. Kombinert med grafittens utmerkede termiske stabilitet og lette egenskaper, kombinerer dette materialet høytemperaturstyrke med motstand mot kjemiske angrep og termisk sjokk, noe som gjør det til et ideelt valg for halvlederprosessutstyr som opererer under ekstreme forhold.
Fordeler med porøs tantalkarbidgrafitt:
1. Ultrahøy korrosjonsbestandighet
-TaC er kjemisk inert og motstår effektivt korrosjon fra halogener som fluor og klor, noe som forlenger utstyrets levetid betydelig.
- Den porøse strukturen øker beleggets overflateareal, danner en mer robust beskyttende barriere og reduserer risikoen for partikkelavgivelse.
2. Utmerket stabilitet ved høy temperatur
-Med et smeltepunkt på nær 4000 °C, kan den operere i lengre perioder i vakuum eller inerte atmosfærer som overstiger 2500 °C.
- Beleggets termiske ekspansjonskoeffisient er svært lik grafittens, noe som forhindrer sprekkdannelse og delaminering forårsaket av termisk sykling.
3. Høy renhet og lav forurensning
-Ved bruk av råmaterialer og prosesser av halvlederkvalitet er innholdet av metallurenheter ekstremt lavt, noe som reduserer risikoen for waferforurensning betydelig.
- Overflaten er tett og kjemisk stabil, noe som reduserer partikkelgenerering og oppfyller strenge standarder for renrom.
4. Tilpasset design
Komplekse former kan produseres i henhold til kundens tegninger, og porøsitet og beleggtykkelse kan kontrolleres for å oppnå optimal gasstrøm og varmeledningsevne.
5. Lang levetid og lave vedlikeholdskostnader
Den ekstremt høye korrosjons- og slitestyrken til porøse TaC-belegg øker komponentenes levetid med 3–5 ganger sammenlignet med tradisjonell grafitt, noe som reduserer utskiftingsfrekvensen og vedlikeholdskostnadene.
Hovedapplikasjoner
1. Kjernekomponenter for waferproduksjon
- Reaksjonskammerforinger, ledeplater og dusjhode for CVD/ALD-utstyr
- PVD-målstøtter
- Høytemperaturprosesskomponenter for diffusjon, oksidasjon, gløding og andre prosesser
2. Kjemiske dampavsetningssystemer
– Beskyttelse av nøkkelkomponenter i svært korrosive miljøer (som fluorider og klorider) under prosessen
3. Andre korrosive miljøer med høy temperatur
- Egnet for kjemisk gassrensing, spesialiserte varmebehandlingsovner og andre bruksområder.
VET Energy er en profesjonell produsent som fokuserer på forskning og utvikling og produksjon av avanserte materialer som grafitt, silisiumkarbid, kvarts, samt materialbehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.
VET Energys fordeler inkluderer:
• Egen fabrikk og profesjonelt laboratorium;
• Bransjeledende renhetsnivåer og kvalitet;
• Konkurransedyktig pris og rask leveringstid;
• Flere bransjepartnerskap over hele verden;
Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken og laboratoriet vårt når som helst!
