Silicon Carbide SiC Mafalitsidwe Njira chubu

Silicon Carbide SiC Mafalitsidwe Njira chubu

Machubu a Ng'anjo ya Silicon Carbidendi zigawo zofunika kwambiri zomwe zimagwiritsidwa ntchito mu semiconductor, mankhwala otentha kwambiri, komanso njira zokonzekera zinthu. Amagwiritsidwa ntchito makamaka ngati chipinda chothandizira ndi chochitirapo kanthu cha ng'anjo zofalitsa kapena ng'anjo zofalitsa, zomwe zimachita zinthu monga mlengalenga, kuzizira, kufalikira, ndi kupopera m'malo otentha kwambiri komanso owononga kwambiri.
VET Energy imagwira ntchito yokonza ndi kupanga machubu a silicon carbide (SiC) kuti agwiritsidwe ntchito pa semiconductor yotentha kwambiri komanso yowononga. Ndi zipangizo zopangira zapamwamba komanso ukadaulo wapadera wa CVD ndi sintering, timapereka machubu omwe ali ndi kukhazikika kwabwino kwa kutentha, kukana okosijeni, komanso moyo wautali.

Ubwino wa machubu a SiC a VET Energy:

Kuyera Kwambiri:Popangidwa pogwiritsa ntchito njira yapadera yoyeretsera, zinthu zodetsa zitsulo zoopsa (monga Na, K, Fe, ndi Al) zimachepetsedwa kufika pamlingo wa ppb.
Mpweya Wochepa Kwambiri:Pansi pa kutentha kwambiri komanso malo okhala ndi vacuum yambiri, kutulutsa mpweya kumakhala kotsika kwambiri kuposa kwa quartz, zomwe zimateteza bwino kuipitsidwa kwa chipinda chogwirira ntchito, kuonetsetsa kuti mafilimu opyapyala kapena kukula kwa kristalo kumakhala bwino, komanso kukonza bwino zokolola za zinthu (makamaka zofunika kwambiri pa SiC epitaxy, kukula kwa GaN, ndi kupanga silicon ya single-crystal yapamwamba).
Kukhazikika kwa Kutentha Kwambiri:Kutentha kwa nthawi yayitali kogwira ntchito kopitilira 1600°C (pamwamba kwambiri pa malo ofewa a quartz, pafupifupi 1200°C) n'kotheka, ndipo kutentha kwa nthawi yochepa kumatha kupirira kutentha kwakukulu (monga 1800°C), kukwaniritsa zofunikira kutentha kwambiri za semiconductors za m'badwo wachitatu ndi njira zokulira makristalo.
Kukana Kudzikundikira kwa Mankhwala:Yolimba kwambiri ku mpweya wowononga kwambiri monga HCl, Cl₂, ndi HF, komanso silicon yosungunuka ndi nthunzi yachitsulo, imasunga umphumphu wa kapangidwe kake ndi kumalizidwa kwake m'mlengalenga wovuta monga CVD, kufalikira, kukhuthala, ndi kupsa, ndipo imakhala ndi moyo wautali kuposa machubu a ng'anjo ya quartz.
Kutentha Kwambiri Kwambiri:Mphamvu yake yotenthetsera kutentha ndi yayikulu kwambiri kuposa ya quartz, zomwe zimathandiza kuti kutentha kwa ng'anjo kugawidwe mwachangu komanso mofanana komanso kukonza kufanana kwa njira ndi kubwerezabwereza. Izi ndizofunikira kwambiri pakupanga ma wafer ambiri m'malo akuluakulu (monga ma photovoltaic diffusion furnaces ndi ma MOCVD reactors).
Kukhazikika kwa Miyeso:Kuchuluka kwake kochepa kwambiri kwa kutentha kumaonetsetsa kuti chubu cha ng'anjo chimasunga mawonekedwe okhazikika ngakhale kutentha kusinthasintha mobwerezabwereza komanso kwakukulu, kupewa kulephera kwa chisindikizo kapena kupsinjika komwe kumachitika chifukwa cha kukula ndi kupindika kwa kutentha.
Kulimba:Kulimba kwake kwakukulu ndi mphamvu zake zimapatsa chubu cha uvuni mphamvu zabwino kwambiri, zomwe zimapangitsa kuti chikhale cholimba ku kusintha ndi kuwonongeka.

Ntchito Yachizolowezi:

Kupanga Ma Semiconductor:Kukula kwa SiC/GaN epitaxial (MOCVD, HTCVD), epitaxy yochokera ku silicon, kufalikira kwa kutentha kwambiri/kusungunuka/kusungunuka (RTP), ndi LPCVD.

Makampani Opanga Ma Photovoltaic:Kufalikira kwa kutentha kwambiri (kufalikira kwa phosphorous/boron) ndi kulowetsedwa kwa maselo a solar a silicon a crystalline.