Porozni grafitni obroč s prevleko iz tantalovega karbida

Porozni grafitni obroč s prevleko iz tantalovega karbida
Grafit, prevlečen s poroznim tantalovim karbidom (TaC)je ključni material, razvit posebej za visokotemperaturna, zelo korozivna okolja pri proizvodnji polprevodnikov. Njegov substrat je visoko čist izostatični grafit, prevlečen z enakomerno porozno prevleko tantalovega karbida s kemičnim nanašanjem iz pare (CVD). TaC ima izjemno visoko trdoto (9-10 na Mohsovi lestvici) in tališče 3880 °C. V kombinaciji z odlično toplotno stabilnostjo in lahkostjo grafita ta material združuje visokotemperaturno trdnost z odpornostjo na kemične napade in toplotne šoke, zaradi česar je idealna izbira za polprevodniško procesno opremo, ki deluje v ekstremnih pogojih.

Prednosti poroznega tantalovega karbidnega grafita:
1. Ultra visoka odpornost proti koroziji
-TaC je kemično inerten, učinkovito se upira koroziji zaradi halogenov, kot sta fluor in klor, kar znatno podaljša življenjsko dobo opreme.
-Porozna struktura poveča površino premaza, s čimer tvori robustnejšo zaščitno pregrado in zmanjša tveganje za odpadanje delcev.
2. Odlična stabilnost pri visokih temperaturah
-S tališčem, ki se bliža 4000 °C, lahko deluje dlje časa v vakuumu ali inertnih atmosferah, ki presegajo 2500 °C.
- Koeficient toplotnega raztezanja prevleke je zelo usklajen s koeficientom grafita, kar preprečuje razpoke in delaminacijo, ki jo povzročajo toplotni ciklusi.
3. Visoka čistost in nizka kontaminacija
-Z uporabo surovin in postopkov polprevodniške kakovosti je vsebnost kovinskih nečistoč izjemno nizka, kar znatno zmanjša tveganje kontaminacije rezin.
-Površina je gosta in kemično stabilna, kar zmanjšuje nastajanje delcev in izpolnjuje stroge standarde čistih prostorov.
4. Oblikovanje po meri
Kompleksne oblike je mogoče izdelati po risbah strank, poroznost in debelino premaza pa je mogoče nadzorovati za doseganje optimalnega pretoka plina in toplotne prevodnosti.
5. Dolga življenjska doba in nizki stroški vzdrževanja
Izjemno visoka odpornost proti koroziji in obrabi poroznih TaC premazov podaljša življenjsko dobo komponent za 3-5-krat v primerjavi s tradicionalnim grafitom, kar zmanjša pogostost zamenjav in stroške vzdrževanja.

Glavne aplikacije
1. Osnovne komponente za proizvodnjo rezin
- Obloge reakcijskih komor, pregrade in tuš za opremo CVD/ALD
- Podpora za tarče PVD
- Visokotemperaturne procesne komponente za difuzijo, oksidacijo, žarjenje in druge procese
2. Sistemi za kemično nanašanje s paro
- Zaščita ključnih komponent v zelo korozivnih okoljih (kot so fluoridi in kloridi) med postopkom
3. Druga korozivna okolja z visokimi temperaturami
- Primerno za kemično čiščenje plinov, specializirane peči za toplotno obdelavo in druge aplikacije.