PECVD графитна подлога за плочице

Носач графитних плочица VET Energy PECVD процеса је потрошни материјал дизајниран за PECVD процес (хемијско таложење из паре помоћу плазме). Овај производ је направљен од графитног материјала високе чистоће и густине, са одличном отпорношћу на високе температуре, отпорношћу на корозију, димензионалном стабилношћу и другим карактеристикама, може да обезбеди стабилну платформу за PECVD процес, како би се осигурала једнообразност и равност таложења филма.

Дизајн „графитне подлоге“ графитне подлоге за плочице VET Energy не само да може ефикасно да подржи плочицу, већ и да обезбеди термичку стабилност у PECVD окружењу високе температуре и високог притиска како би се осигурала стабилност процеса.

Носач графитних плочица VET Energy PECVD процеса има следеће карактеристике:

▪Висока чистоћа:изузетно низак садржај нечистоћа, избегавајте контаминацију филма, како бисте осигурали квалитет филма.

▪Висока густина:висока густина, висока механичка чврстоћа, може издржати високе температуре и висок притисак у PECVD окружењу.

▪Добра димензионална стабилност:мале димензионалне промене на високој температури како би се осигурала стабилност процеса.

▪Одлична топлотна проводљивост:ефикасно преносе топлоту како би се спречило прегревање плочице.

▪Јака отпорност на корозију:Способан да се одупре ерозији разним корозивним гасовима и плазмом.

▪Прилагођена услуга:Графитни столови за подршку различитих величина и облика могу се прилагодити потребама купаца.