ÖsenSiC Konsolly Kürek"Vet-china" tarapyndan döredilen "for Wafer Processing" ýarymgeçiriji önümçiligi üçin ajaýyp çözgüt hödürleýär. Bu konsol küregi SiC (kremniý karbidi) materialyndan ýasalýar we onuň ýokary berkligi we gyzgynlyga çydamlylygy ýokary temperaturada we poslama gurşawynda ajaýyp işlemegini saklamaga mümkinçilik berýär. Konsol küreginiň dizaýny käseleme wagtynda käseniň ygtybarly goldanylmagyna mümkinçilik berýär we parçalanma we zaýalanma töwekgelçiligini azaldýar.
SiC Konsolly Kürekoksidlenme peçi, diffuziýa peçi we ýumşatma peçi ýaly ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynda ulanylýan ýöriteleşdirilen bölek bolup, esasy ulanylyşy wafli ýüklemek we düşürmek üçin, ýokary temperatura proseslerinde waflileri goldaýar we daşaýar.
Umumy gurluşlar-nyňSiCcantiwiruspaddle: bir ujunda berkidilen, beýleki ujunda bolsa erkin konsol gurluşy, adatça, tekiz we kürek ýaly dizaýna eýedir.
"VET Energy" hilini kepillendirmek üçin ýokary arassalykly gaýtadan kristallaşdyrylan kremniý karbid materiallaryny ulanýar.
| Gaýtadan kristallaşdyrylan kremniý karbidiniň fiziki häsiýetleri | |
| Emläk | Adaty gymmatlyk |
| Iş temperaturasy (°C) | 1600°C (kislorod bilen), 1700°C (reduksasiýa gurşawy) |
| SiC mazmuny | > 99.96% |
| Mugt Si mazmuny | < 0.1% |
| Köp mukdarda dykyzlyk | 2.60-2.70 g/sm33 |
| Görünýän gözeneklilik | < 16% |
| Sykyş güýji | > 600MPa |
| Sowuk egilme güýji | 80-90 MPa (20°C) |
| Gyzgyn egilme güýji | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termal giňelme @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Ýylylyk geçirijiligi @1200°C | 23W/m•K |
| Elastik modul | 240 GPa |
| Termal şoka garşylyk | Örän gowy |
“VET Energy” kompaniýasynyň wafli gaýtadan işlemek üçin ösen SiC konsolly küregiň artykmaçlyklary:
-Ýokary temperatura durnuklylygy: 1600°C-den ýokary gurşawlarda ulanyp bolýar;
-Pes termal giňelme koeffisiýenti: ölçegli durnuklylygy saklaýar, plastinkanyň döwülme howpuny azaldýar;
-Ýokary arassalyk: metalyň hapalanmagynyň töwekgelçiliginiň pes bolmagy;
-Himiki inertlik: korroziýa garşy, dürli gaz gurşawlary üçin amatly;
-Ýokary berklik we gatylyk: Aşynmaga çydamly, uzak hyzmat möhleti;
-Gowy ýylylyk geçirijiligi: plastinalaryň birmeňzeş gyzmagyna kömek edýär.
