kremniý karbid keramiki örtük gyzdyryjy

Wet-HytaýSilikon karbid keramikiÖrtük, gaty gaty we könelişen ýokary öndürijilikli gorag örtügidirkremniy karbid (SiC)ajaýyp himiki poslama garşylygy we ýokary temperatura durnuklylygyny üpjün edýän material. Bu aýratynlyklar ýarymgeçiriji önümçiliginde möhümdirSilikon karbid keramiki örtükýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň esasy böleklerinde giňden ulanylýar.

Wet-Hytaýyň aýratyn rolySilikon karbid keramikiOndarymgeçiriji önümçiliginde örtük aşakdaky ýaly:

Enjamlaryň berkligini ýokarlandyrmak:Silikon karbid keramiki örtük Silikon karbid keramiki örtük, ýarymgeçiriji önümçilik enjamlary gaty ýokary berkligi we könelişme garşylygy bilen ajaýyp ýerüsti goragy üpjün edýär. Esasanam himiki buglaryň çökmegi (CVD) we plazmanyň emele gelmegi ýaly ýokary temperaturaly we ýokary poslaýjy proses şertlerinde örtük enjamyň ýüzüne himiki eroziýa ýa-da fiziki könelmek zerarly zeper ýetmeginiň öňüni alyp biler, şeýlelik bilen enjamyň hyzmat möhletini ep-esli uzaldyp, ýygy-ýygydan çalyşmak we bejermek sebäpli iş wagty azalýar.

Amalyň arassalygyny ýokarlandyrmak:Ondarymgeçirijini öndürmek prosesinde ownuk hapalanma önümiň kemçiliklerine sebäp bolup biler. Silikon Karbid keramiki örtüginiň himiki inertligi, aşa şertlerde durnukly bolmaga mümkinçilik berýär, materialyň bölejikleriň ýa-da hapalaryň çykmagyna päsgel berýär we şeýlelik bilen prosesiň ekologiýa arassalygyny üpjün edýär. Bu, esasanam PECVD we ion implantasiýasy ýaly ýokary takyklygy we ýokary arassalygy talap edýän önümçilik ädimleri üçin möhümdir.

Malylylyk dolandyryşyny optimizirläň:Çalt ýylylyk gaýtadan işlemek (RTP) we okislenme prosesi ýaly ýokary temperaturaly ýarymgeçirijini gaýtadan işlemekde, Silikon Karbid keramiki örtüginiň ýokary ýylylyk geçirijiligi enjamyň içinde birmeňzeş temperatura paýlanmagyna mümkinçilik berýär. Bu, ýylylyk stresini we temperaturanyň üýtgemegi sebäpli ýüze çykýan maddy deformasiýany azaltmaga kömek edýär, şeýlelik bilen önüm öndürmegiň takyklygyny we yzygiderliligini ýokarlandyrýar.

Çylşyrymly proses gurşawyny goldaň:ICP siňdiriş we PSS emele getiriş prosesi ýaly çylşyrymly atmosfera gözegçiligini talap edýän amallarda, Silikon Karbid keramiki örtüginiň durnuklylygy we okislenme garşylygy enjamyň uzak möhletleýin işlemeginde durnukly işlemegini üpjün edýär, daşky gurşawyň üýtgemegi sebäpli material zaýalanmagy ýa-da enjamlaryň zaýalanmagy töwekgelçiligini azaldýar.