Die vereistes vir grafietmateriaal in die halfgeleierbedryf is besonder hoog. Grafiet het hoë presisie, hoë temperatuurweerstand, hoë sterkte, klein verlies en ander voordele, soos gesinterde grafietprodukte.Omdat die grafiettoerusting wat in die halfgeleierbedryf gebruik word (insluitend verwarmers en hul gesinterde matryse) herhaalde verhittings- en verkoelingsprosesse moet weerstaan, word dit gewoonlik vereis dat die grafietmateriale wat gebruik word, stabiele werkverrigting en hittebestande impakfunksie het om die lewensduur van grafiettoerusting te verleng.
01 Grafietbykomstighede vir halfgeleierkristalgroei
Alle prosesse wat gebruik word om halfgeleierkristalle te kweek, werk onder hoë temperatuur en korrosiewe omgewing. Die warm sone van die kristalgroeioond is gewoonlik toegerus met hittebestande en korrosiebestande hoë-suiwerheid grafietkomponente, soos verwarmer, kroes, isolasiesilinder, gidssilinder, elektrode, kroeshouer, elektrodemoer, ens.
Ons kan alle grafietonderdele van kristalproduksietoestelle vervaardig, wat individueel of in stelle verskaf kan word, of pasgemaakte grafietonderdele van verskillende groottes volgens kliëntvereistes. Die grootte van produkte kan op die perseel gemeet word, en die asinhoud van klaarprodukte kan minder wees.as 5 dpm.
02 Grafietbykomstighede vir halfgeleier-epitaksie
Die epitaksiale proses verwys na die groei van 'n laag enkelkristalmateriaal met dieselfde roosterrangskikking as die substraat op die enkelkristalsubstraat. In die epitaksiale proses word die wafer op die grafietskyf gelaai. Die werkverrigting en kwaliteit van die grafietskyf speel 'n belangrike rol in die kwaliteit van die epitaksiale laag van die wafer. In die veld van epitaksiale produksie word baie ultra-hoë suiwerheid grafiet en hoë suiwerheid grafietbasis met SIC-laag benodig.
Ons maatskappy se grafietbasis vir halfgeleier-epitaksie het 'n wye reeks toepassings, kan ooreenstem met die meeste van die algemeen gebruikte toerusting in die bedryf, en het hoë suiwerheid, eenvormige bedekking, uitstekende lewensduur, en hoë chemiese weerstand en termiese stabiliteit.
03 Grafietbykomstighede vir iooninplanting
Iooninplanting verwys na die proses waar die plasmastraal van boor, fosfor en arseen tot 'n sekere energie versnel word, en dit dan in die oppervlaklaag van die wafermateriaal ingespuit word om die materiaaleienskappe van die oppervlaklaag te verander. Die komponente van die iooninplantingstoestel moet van hoësuiwerheidsmateriale gemaak word met uitstekende hittebestandheid, termiese geleidingsvermoë, minder korrosie veroorsaak deur die ioonstraal en lae onsuiwerheidsinhoud. Hoësuiwerheidsgrafiet voldoen aan die toepassingsvereistes en kan gebruik word vir die vlugbuis, verskeie gleuwe, elektrodes, elektrodebedekkings, leidings, straalterminators, ens. van iooninplantingstoerusting.
Ons kan nie net grafietbeskermende bedekking vir verskeie iooninplantingsmasjiene verskaf nie, maar ook hoë-suiwerheid grafietelektrodes en ioonbronne met hoë korrosieweerstand van verskeie spesifikasies. Toepaslike modelle: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM en ander toerusting. Daarbenewens kan ons ook bypassende keramiek-, wolfram-, molibdeen-, aluminiumprodukte en bedekte onderdele verskaf.
04 Grafiet-isolasiemateriaal en ander
Termiese isolasiemateriale wat in halfgeleierproduksietoerusting gebruik word, sluit in grafietharde vilt, sagte vilt, grafietfoelie, grafietpapier en grafiettou.
Al ons grondstowwe is ingevoerde grafiet, wat volgens die spesifieke grootte van die kliënt se vereistes gesny kan word of as 'n geheel verkoop kan word.
Die koolstof-koolstofbak word as die draer vir filmbedekking gebruik in die produksieproses van sonkrag monokristallyne silikon en polikristallyne silikon selle. Die werkbeginsel is: plaas die silikonskyfie in die CFK-bak en stuur dit na die oondbuis om die filmbedekking te verwerk.
