Kröfur hálfleiðaraiðnaðarins um grafítefni eru sérstaklega miklar. Grafítið hefur mikla nákvæmni, háan hitaþol, mikinn styrk og lítið tap og aðra kosti, svo sem: mótun á sintergrafítafurðum.Þar sem grafítbúnaður sem notaður er í hálfleiðaraiðnaðinum (þar með talið hitari og sinteraðir deyja) þarf að þola endurteknar upphitunar- og kælingarferli, er venjulega krafist að grafítefnin sem notuð eru hafi stöðuga afköst og hitaþolna höggvirkni til að lengja líftíma grafítbúnaðar.
01 Grafít fylgihlutir fyrir vöxt hálfleiðarakristalla
Allar aðferðir sem notaðar eru til að rækta hálfleiðarakristalla eru starfræktar við hátt hitastig og tærandi umhverfi. Heita svæðið í kristallavaxtarofni er venjulega búið hitaþolnum og tæringarþolnum hágæða grafíthlutum, svo sem hitara, deiglu, einangrunarstrokka, leiðarstrokka, rafskaut, deigluhaldara, rafskautsmötu o.s.frv.
Við getum framleitt alla grafíthluta fyrir kristalframleiðslutæki, sem hægt er að fá staka eða í settum, eða sérsniðna grafíthluta í ýmsum stærðum eftir kröfum viðskiptavina. Stærð vörunnar er hægt að mæla á staðnum og öskuinnihald fullunninna vara getur verið minna.en 5 ppm.
02 Grafít fylgihlutir fyrir hálfleiðara epitaxíu
Með epitaxialferli er átt við vöxt lags af einkristallaefni með sömu grindarröðun og undirlagið á einkristalla undirlaginu. Í epitaxialferlinu er skífan hlaðin á grafítdiskinn. Afköst og gæði grafítdisksins gegna mikilvægu hlutverki í gæðum epitaxiallagsins á skífunni. Í framleiðslu epitaxial þarf mikið magn af afar hreinum grafíti og hágæða grafítgrunni með SIC húðun.
Grafítgrunnur fyrirtækisins okkar fyrir hálfleiðaraepitaxíu hefur fjölbreytt notkunarsvið, passar við flestan algengan búnað í greininni og hefur mikla hreinleika, einsleita húðun, frábæran endingartíma og mikla efnaþol og hitastöðugleika.
03 Grafít fylgihlutir fyrir jónaígræðslu
Jónígræðsla vísar til þess ferlis að flýta fyrir plasmageisla bórs, fosfórs og arsens upp í ákveðna orku og síðan sprauta þeim inn í yfirborðslag skífuefnisins til að breyta efniseiginleikum yfirborðslagsins. Íhlutir jónígræðslutækisins skulu vera úr hágæða efnum með framúrskarandi hitaþol, varmaleiðni, minni tæringu af völdum jónígræðslu og lágu óhreinindainnihaldi. Háhrein grafít uppfyllir kröfur notkunar og er hægt að nota það í flugrör, ýmsar raufar, rafskaut, rafskautshlífar, leiðslur, geislaloka o.s.frv. í jónígræðslubúnaði.
Við getum ekki aðeins útvegað grafítvörn fyrir ýmsar jónaígræðsluvélar, heldur einnig útvegað hágæða grafítrafskaut og jónagjafa með mikilli tæringarþol af ýmsum gerðum. Viðeigandi gerðir: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM og annar búnaður. Að auki getum við einnig útvegað samsvarandi keramik-, wolfram-, mólýbden-, ál- og húðaða hluti.
04 Grafít einangrunarefni og annað
Einangrunarefni sem notuð eru í framleiðslubúnaði fyrir hálfleiðara eru meðal annars grafítþunnt filt, mjúkt filt, grafítfilma, grafítpappír og grafítreipi.
Allt hráefni okkar er innflutt grafít, sem hægt er að skera í samræmi við kröfur viðskiptavina eða selja í heild sinni.
Kolefnis-kolefnisbakkinn er notaður sem burðarefni fyrir filmuhúðun í framleiðsluferli sólar einkristallaðs kísils og fjölkristallaðs kísils. Virknisreglan er: Setjið kísillflísinn í CFC-bakkann og sendið hann í ofnrörið til að vinna filmuhúðunina.
