Pooljuhtide tööstuse nõuded grafiidimaterjalidele on eriti kõrged. Grafiidi peeneteralistel osakestel on suur täpsus, kõrge temperatuuritaluvus, suur tugevus ja väikesed kaod, näiteks paagutatud grafiiditoodete vormimine.Kuna pooljuhtide tööstuses kasutatavad grafiidiseadmed (sh kütteseadmed ja nende paagutatud stantsid) peavad vastu pidama korduvatele kuumutus- ja jahutusprotsessidele, on grafiidiseadmete kasutusea pikendamiseks tavaliselt vaja, et kasutatavatel grafiidimaterjalidel oleks stabiilne jõudlus ja kuumakindel löögifunktsioon.
01 Grafiidist tarvikud pooljuhtide kristallide kasvatamiseks
Kõik pooljuhtkristallide kasvatamiseks kasutatavad protsessid toimivad kõrgel temperatuuril ja korrosiivses keskkonnas. Kristallkasvuahju kuum tsoon on tavaliselt varustatud kuumakindlate ja korrosioonikindlate kõrge puhtusastmega grafiidikomponentidega, nagu kütteseade, tiigel, isolatsioonisilinder, juhtsilinder, elektrood, tiiglihoidik, elektroodi mutter jne.
Saame toota kõiki kristallide tootmisseadmete grafiidist osi, mida saab tarnida nii eraldi kui ka komplektidena, või kliendi nõudmistele vastavaid erineva suurusega kohandatud grafiidist osi. Toodete suurust saab kohapeal mõõta ja valmistoodete tuhasisaldus võib olla väiksem.kui 5 ppm.
02 Grafiidist lisatarvikud pooljuhtide epitaksiaks
Epitaksiaalne protsess viitab monokristallilisest materjalist kihi kasvatamisele monokristallilisel aluspinnal, millel on sama võrepaigutus kui aluspinnal. Epitaksiaalse protsessi käigus laaditakse vahvel grafiitkettale. Grafiitketta jõudlus ja kvaliteet mängivad olulist rolli vahvli epitaksiaalse kihi kvaliteedis. Epitaksiaalse tootmise valdkonnas on vaja palju ülikõrge puhtusastmega grafiiti ja SIC-kattega kõrge puhtusastmega grafiidi alust.
Meie ettevõtte pooljuhtide epitaksia grafiidibaasil on lai valik rakendusi, see sobib enamiku tööstuses tavaliselt kasutatavate seadmetega ning sellel on kõrge puhtusaste, ühtlane kate, suurepärane kasutusiga ning kõrge keemiline vastupidavus ja termiline stabiilsus.
03 Grafiidist lisatarvikud ioonimplantatsiooniks
Ioonimplantatsioon viitab boori, fosfori ja arseeni plasmakiire kiirendamisele teatud energiani ning seejärel selle süstimisele vahvlimaterjali pinnakihti, et muuta pinnakihi materjali omadusi. Ioonimplantatsiooniseadme komponendid peavad olema valmistatud kõrge puhtusastmega materjalidest, millel on suurepärane kuumakindlus, soojusjuhtivus, väiksem ioonkiire põhjustatud korrosioon ja madal lisandite sisaldus. Kõrge puhtusastmega grafiit vastab rakendusnõuetele ja seda saab kasutada ioonimplantatsiooniseadmete lennutorude, erinevate pilude, elektroodide, elektroodikatete, torude, kiireterminaatorite jms jaoks.
Me ei paku mitte ainult grafiidist varjestuskatteid erinevatele ioonimplantatsioonimasinatele, vaid pakume ka kõrge puhtusastmega grafiitelektroode ja ioonallikaid, millel on kõrge korrosioonikindlus ja mis vastavad erinevatele spetsifikatsioonidele. Sobivad mudelid: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ja muud seadmed. Lisaks saame pakkuda ka sobivaid keraamilisi, volframist, molübdeenist, alumiiniumist tooteid ja kaetud osi.
04 Grafiidist isolatsioonimaterjalid ja muud
Pooljuhtide tootmisseadmetes kasutatavate soojusisolatsioonimaterjalide hulka kuuluvad grafiitkõva vilt, pehme vilt, grafiitfoolium, grafiitpaber ja grafiitköis.
Kõik meie toorained on imporditud grafiit, mida saab lõigata vastavalt kliendi vajadustele või müüa tervikuna.
Süsinik-süsinikalust kasutatakse päikeseenergia monokristallilise räni ja polükristallilise räni elementide tootmisprotsessis kilekatte kandjana. Tööpõhimõte on järgmine: ränikiip sisestatakse CFC-alusse ja saadetakse see kilekatte töötlemiseks ahjutorusse.
