Οι απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών για υλικά γραφίτη είναι ιδιαίτερα υψηλές, το λεπτό μέγεθος σωματιδίων γραφίτη έχει υψηλή ακρίβεια, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, υψηλή αντοχή, μικρές απώλειες και άλλα πλεονεκτήματα, όπως: καλούπια προϊόντων από συντηγμένο γραφίτη.Επειδή ο εξοπλισμός γραφίτη που χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών (συμπεριλαμβανομένων των θερμαντήρων και των συντηγμένων μήτρων τους) απαιτείται να αντέχει σε επαναλαμβανόμενες διαδικασίες θέρμανσης και ψύξης, προκειμένου να παραταθεί η διάρκεια ζωής του εξοπλισμού γραφίτη, συνήθως απαιτείται τα χρησιμοποιούμενα υλικά γραφίτη να έχουν σταθερή απόδοση και ανθεκτική στη θερμότητα λειτουργία κρούσης.
01 Αξεσουάρ γραφίτη για ανάπτυξη κρυστάλλων ημιαγωγών
Όλες οι διεργασίες που χρησιμοποιούνται για την ανάπτυξη κρυστάλλων ημιαγωγών λειτουργούν σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικό. Η θερμή ζώνη του κλιβάνου ανάπτυξης κρυστάλλων είναι συνήθως εξοπλισμένη με ανθεκτικά στη θερμότητα και στη διάβρωση εξαρτήματα γραφίτη υψηλής καθαρότητας, όπως θερμαντήρα, χωνευτήριο, κύλινδρο μόνωσης, κύλινδρο οδηγό, ηλεκτρόδιο, βάση χωνευτηρίου, παξιμάδι ηλεκτροδίου κ.λπ.
Μπορούμε να κατασκευάσουμε όλα τα μέρη γραφίτη των συσκευών παραγωγής κρυστάλλων, τα οποία μπορούν να παραδοθούν μεμονωμένα ή σε σετ, ή προσαρμοσμένα μέρη γραφίτη διαφόρων μεγεθών σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη. Το μέγεθος των προϊόντων μπορεί να μετρηθεί επί τόπου και η περιεκτικότητα σε τέφρα των τελικών προϊόντων μπορεί να είναι μικρότερη.από 5 ppm.
02 Αξεσουάρ γραφίτη για επιταξία ημιαγωγών
Η επιταξιακή διαδικασία αναφέρεται στην ανάπτυξη ενός στρώματος μονοκρυσταλλικού υλικού με την ίδια διάταξη πλέγματος με το υπόστρωμα στο μονοκρυσταλλικό υπόστρωμα. Στην επιταξιακή διαδικασία, η πλακέτα φορτώνεται στον δίσκο γραφίτη. Η απόδοση και η ποιότητα του δίσκου γραφίτη παίζουν ζωτικό ρόλο στην ποιότητα του επιταξιακού στρώματος της πλακέτας. Στον τομέα της επιταξιακής παραγωγής, απαιτείται πολύς γραφίτης εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας και βάση γραφίτη υψηλής καθαρότητας με επίστρωση SIC.
Η βάση γραφίτη της εταιρείας μας για επιταξία ημιαγωγών έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, μπορεί να ταιριάξει με τον περισσότερο συνήθως χρησιμοποιούμενο εξοπλισμό στη βιομηχανία και έχει υψηλή καθαρότητα, ομοιόμορφη επίστρωση, εξαιρετική διάρκεια ζωής και υψηλή χημική αντοχή και θερμική σταθερότητα.
03 Αξεσουάρ γραφίτη για εμφύτευση ιόντων
Η εμφύτευση ιόντων αναφέρεται στη διαδικασία επιτάχυνσης της δέσμης πλάσματος βορίου, φωσφόρου και αρσενικού σε μια ορισμένη ενέργεια και στη συνέχεια στην έγχυση της στο επιφανειακό στρώμα του υλικού της πλακέτας για την αλλαγή των ιδιοτήτων του υλικού της επιφανειακής στρώσης. Τα εξαρτήματα της συσκευής εμφύτευσης ιόντων πρέπει να είναι κατασκευασμένα από υλικά υψηλής καθαρότητας με εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα, θερμική αγωγιμότητα, λιγότερη διάβρωση που προκαλείται από τη δέσμη ιόντων και χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες. Ο γραφίτης υψηλής καθαρότητας πληροί τις απαιτήσεις εφαρμογής και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τον σωλήνα πτήσης, διάφορες σχισμές, ηλεκτρόδια, καλύμματα ηλεκτροδίων, αγωγούς, τερματιστές δέσμης κ.λπ. εξοπλισμού εμφύτευσης ιόντων.
Μπορούμε όχι μόνο να παρέχουμε κάλυψη θωράκισης γραφίτη για διάφορες μηχανές εμφύτευσης ιόντων, αλλά και να παρέχουμε ηλεκτρόδια γραφίτη υψηλής καθαρότητας και πηγές ιόντων με υψηλή αντοχή στη διάβρωση διαφόρων προδιαγραφών. Εφαρμόσιμα μοντέλα: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM και άλλος εξοπλισμός. Επιπλέον, μπορούμε επίσης να παρέχουμε αντίστοιχα κεραμικά, βολφραμικά, μολυβδαινικά, αλουμίνιο και επικαλυμμένα εξαρτήματα.
04 Γραφιτικά μονωτικά υλικά και άλλα
Τα θερμομονωτικά υλικά που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό παραγωγής ημιαγωγών περιλαμβάνουν σκληρό τσόχα από γραφίτη, μαλακό τσόχα, φύλλο γραφίτη, χαρτί γραφίτη και σχοινί γραφίτη.
Όλες οι πρώτες ύλες μας είναι εισαγόμενος γραφίτης, ο οποίος μπορεί να κοπεί σύμφωνα με το συγκεκριμένο μέγεθος των απαιτήσεων του πελάτη ή να πωληθεί ολόκληρος.
Ο δίσκος άνθρακα-άνθρακα χρησιμοποιείται ως φορέας για την επικάλυψη μεμβράνης στη διαδικασία παραγωγής ηλιακών μονοκρυσταλλικών και πολυκρυσταλλικών κυψελών πυριτίου. Η αρχή λειτουργίας είναι: εισαγωγή του τσιπ πυριτίου στον δίσκο CFC και αποστολή του στον σωλήνα του κλιβάνου για την επεξεργασία της επικάλυψης μεμβράνης.
